چرا گیره های گرافیتی با پوشش SiC را انتخاب می کنیم؟

گیرنده گرافیتیکی از قطعات ضروری در تجهیزات MOCVD، حامل و گرم کننده بستر ویفر است. خواص پایداری حرارتی و یکنواختی حرارتی آن نقش تعیین کننده ای در کیفیت رشد اپیتاکسی ویفر دارد که مستقیماً یکنواختی و خلوص مواد لایه را تعیین می کند، در نتیجه کیفیت آن مستقیماً بر تهیه اپیتاکسی تأثیر می گذارد. در این میان با افزایش تعداد کاربری ها و تغییر شرایط کار، از بین رفتن آن بسیار آسان است و متعلق به مواد مصرفی است. هدایت حرارتی عالی و پایداری گرافیت آن را به یک مزیت خوب تبدیل کرده استیک جزء پایه برای تجهیزات MOCVD. اما اگر فقط از گرافیت خالص استفاده شود با مشکلاتی مواجه خواهد شد. گاز خورنده و بقایای آلی فلزی در فرآیند تولید وجود خواهد داشت و پایه گرافیت خورده می شود و پودر را رها می کند که به میزان زیادی عمر مفید دستگاه را کاهش می دهد.گیرنده گرافیتو پودر گرافیت ریزش شده نیز باعث آلودگی تراشه می شود، بنابراین در مراحل آماده سازی پایه نیز این مشکلات باید در حین آماده سازی پایه حل شوند. فناوری پوشش می تواند تثبیت پودر سطحی را فراهم کند، هدایت حرارتی را افزایش دهد و توزیع حرارتی را برابر کند، که به فناوری اصلی برای حل این مشکل تبدیل می شود. فناوری اصلی حل این مشکل است. با توجه به محیط برنامه و الزاماتگیرنده های گرافیت، پوشش سطح باید دارای ویژگی های زیر باشد.

چگالی بالا و بسته بندی کامل: پایه گرافیت به طور کلی در دمای بالا و محیط کاری خورنده است، سطح باید به طور کامل پیچیده شود، در حالی که پوشش باید چگالی خوبی داشته باشد تا نقش محافظتی خوبی داشته باشد.

مسطح بودن سطح خوب: از آنجایی که پایه گرافیتی که برای رشد تک کریستال استفاده می شود نیاز به صافی سطح بسیار بالایی دارد، صافی اولیه پایه باید پس از آماده شدن پوشش حفظ شود، یعنی سطح پوشش باید یکنواخت باشد.

استحکام پیوند خوب: کاهش اختلاف ضریب انبساط حرارتی بین پایه گرافیت و مواد پوششی می‌تواند به طور موثری استحکام پیوند بین آنها را بهبود بخشد و ترک خوردن پوشش پس از چرخه‌های حرارتی با دمای بالا و پایین آسان نیست.

هدایت حرارتی بالا: رشد تراشه با کیفیت بالا نیاز به گرمای سریع و یکنواخت از پایه گرافیت دارد، بنابراین مواد پوشش باید رسانایی حرارتی بالایی داشته باشند.

نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون و خوردگی در دمای بالا: پوشش باید بتواند در دمای بالا و محیط های کاری خورنده به طور پایدار کار کند.