تفاوت های ساختاری بین انواع مختلف راکتورها

بر اساس پیکربندی محفظه واکنش، تجهیزات عملیات حرارتی (تجهیزات لوله کوره) عمدتاً به سه دسته تقسیم می شوند: لوله های کوره عمودی، لوله های کوره افقی و کوره های پردازش حرارتی سریع (RTP).

لوله های کوره عمودی دارای لوله های کوارتز به صورت عمودی هستند که ویفرها در اطراف لوله ها برای گرم کردن قرار می گیرند. مزایای اصلی آنها توزیع یکنواخت دما، کنترل دقیق جو، اتوماسیون بالا، آلودگی کمتر ذرات، ردپای کوچک و پشتیبانی از پردازش دسته ای (مخصوصاً برای ویفرهای 12 اینچی مناسب است)، که آنها را به تجهیزات اصلی موجود در حال حاضر تبدیل می کند. اندازه بازار جهانی در سال 2024 به 3.2 میلیارد دلار رسید (داده های SEMI). معایب آنها شامل جداسازی آسان گاز از مایع، و جریان رو به پایین محیط است که به طور بالقوه باعث سوختن لوله کوره می شود.

لوله های کوره افقی دارای لوله های کوارتز افقی هستند که 100-200 ویفر را در یک زمان پردازش می کنند. از مزایای آنها می توان به جریان یکنواخت گاز-مایع در داخل لوله کوره و کنترل دما دقیق تر اشاره کرد. از معایب آنها می توان به ردپای بزرگتر و مصرف بیشتر پایه های لوله میانی فولادی با آلیاژ بالا اشاره کرد. از نظر ساختاری، لوله های کوره افقی، ویفرها را به صورت عمودی در داخل لوله های افقی برای پردازش قرار می دهند.

کوره های آنیل حرارتی سریع (RTP) از لامپ های مادون قرمز هالوژن برای گرم کردن سریع ویفرهای منفرد استفاده می کنند و نرخ گرمایش و سرمایش سریعی را ارائه می دهند که فقط دمای ویفر را بدون تغییر دمای محفظه تغییر می دهد. آنها برای بازپخت سریع دسته ای کوچک مناسب هستند اما برای تولید انبوه مناسب نیستند.

در پردازش ویفر، لوله های کوره افقی، ویفر را روی یک قایق کوارتز قرار می دهند که به نوبه خود بر روی یک قاب پشتیبانی از کاربید سیلیکون (SiC) قرار می گیرد. سپس قاب پشتیبان به داخل لوله کوره کوارتز هل داده می شود، جایی که ویفر در یک منطقه با دمای ثابت تحت واکنش قرار می گیرد. از طرف دیگر، لوله های کوره عمودی، ویفر را روی یک برج کوارتز قرار می دهند و به آرامی آن را برای پردازش به داخل لوله کوره کوارتز می آورند. پس از واکنش، ویفر به آرامی پایین می آید تا از خم شدن یا شکستگی جلوگیری شود.

Semicorex با کیفیت بالا سفارشی عرضه می کندراکتور کوره کوارتز. محصولات ما به گونه ای طراحی شده اند که پایداری حرارتی برتر، عمر مفید طولانی و ثبات فرآیند استثنایی را ارائه دهند. برای راه حل های سفارشی یا اطلاعات فنی اضافی، لطفا با تیم مهندسی ما تماس بگیرید.

تلفن: +86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com