چاک خلاء Al2O3

کاربرد در ساخت نیمه هادی

چاک خلاء Semicorex Al2O3 یک ابزار همه کاره است که در چندین مرحله تولید نیمه هادی استفاده می شود:

نازک شدن: در طول فرآیند نازک شدن ویفر، چاک خلاء Al2O3 پشتیبانی پایدار و یکنواختی را فراهم می کند و از کاهش سطح با دقت بالا اطمینان می دهد. این برای بهبود اتلاف حرارت تراشه و بهبود عملکرد دستگاه بسیار مهم است.

قطعه قطعه کردن: در مرحله قطعه قطعه کردن، جایی که ویفرها به تراشه های جداگانه بریده می شوند، چاک خلاء Al2O3 جذب ایمن و پایدار را ارائه می دهد و خطر آسیب را به حداقل می رساند و برش های تمیز را تضمین می کند.

تمیز کردن: سطح جذب صاف و یکنواخت چاک خلاء Al2O3 آن را برای فرآیندهای تمیز کردن ویفر مناسب می‌کند و تضمین می‌کند که آلاینده‌ها به طور موثر بدون آسیب رساندن به ویفرها حذف می‌شوند.

حمل و نقل: در حین جابجایی و حمل ویفر، چاک خلاء Al2O3 پشتیبانی قابل اعتماد و ایمن را فراهم می کند و خطر آسیب و آلودگی را کاهش می دهد.

نیمه کورکسوکیومچاک فلو

مزایای چاک خلاء Semicorex Al2O3

1. فناوری سرامیک میکرو متخلخل یکنواخت

چاک خلاء Al2O3 با استفاده از فناوری سرامیکی میکرو متخلخل ساخته شده است که شامل استفاده از نانو پودرهایی با اندازه یکنواخت است. این فناوری تضمین می کند که منافذ به طور یکنواخت توزیع شده و به هم متصل می شوند و در نتیجه تخلخل بالا و ساختار یکنواخت متراکم ایجاد می شود. این یکنواختی عملکرد چاک خلاء را افزایش می دهد و پشتیبانی ثابت و قابل اعتماد ویفر را فراهم می کند.

2. خواص استثنایی مواد

آلومینای فوق خالص 99.99% (Al2O3) مورد استفاده در چاک خلاء Al2O3 طیف وسیعی از خواص استثنایی را ارائه می دهد:

خواص حرارتی: با مقاومت حرارتی بالا و هدایت حرارتی عالی، چاک خلاء Al2O3 می تواند دماهای بالایی را که معمولاً در تولید نیمه هادی ها با آن مواجه می شود، تحمل کند.

خواص مکانیکی: استحکام و سختی بالای آلومینا تضمین می کند که چاک خلاء Al2O3 بادوام و مقاوم در برابر سایش و پارگی است و عملکرد طولانی مدتی را ارائه می دهد.

سایر خواص: آلومینا همچنین دارای عایق الکتریکی و مقاومت در برابر خوردگی بالایی است که چاک خلاء Al2O3 را برای طیف وسیعی از محیط های تولیدی مناسب می کند.

3. مسطح و موازی برتر

یکی از مزایای کلیدی چاک خلاء Al2O3 مسطح بودن و موازی بودن بالای آن است. این ویژگی ها برای اطمینان از حمل دقیق و پایدار ویفر، به حداقل رساندن خطر آسیب و اطمینان از نتایج پردازش یکنواخت بسیار مهم هستند. علاوه بر این، نفوذپذیری خوب هوا و نیروی جذب یکنواخت چاک خلاء Al2O3 عملکرد صاف و قابل اعتماد را تضمین می کند.

4. گزینه های سفارشی سازی

در Semicorex، ما درک می کنیم که هر فرآیند تولید نیمه هادی دارای الزامات منحصر به فردی است. به همین دلیل است که ما چاک‌های جاروبرقی سفارشی را ارائه می‌کنیم که مطابق با نیازهای خاص شما طراحی شده‌اند. بسته به مسطح بودن مورد نیاز و هزینه های تولید، ما مواد پایه مختلفی را توصیه می کنیم و اطمینان حاصل می کنیم که وزن و عملکرد چاک خلاء برای کاربرد شما بهینه شده است. این مواد شامل فولاد ضد زنگ SUS430، آلیاژ آلومینیوم 6061، سرامیک متراکم آلومینا (رنگ عاج)، گرانیت و سرامیک کاربید سیلیکون متراکم است.

اندازه گیری CMM چاک خلاء Al2O3