بازوهای رباتیک آلومینا برنولی

بازوهای رباتیک عمدتاً در فرآیندهای تولید نیمه هادی مانند فوتولیتوگرافی و اچینگ استفاده می شوند، جایی که آنها مستقیماً در جابجایی، انتقال و موقعیت یابی ویفرهای نیمه هادی شرکت می کنند. نیمه کورکسآلومینابازوهای روباتیک برنولی، افکت‌های پایانی سرامیکی هستند که بر اساس اصل برنولی به جذب و انتقال ویفر می‌رسند و عملکردی استثنایی در تمیزی، پایداری، دقت، کارایی و قابلیت اطمینان ارائه می‌کنند.

جذب غیر تماسی

بازوهای روباتیک آلومینا برنولی Semicorex می توانند با استفاده از پیکربندی و سیستم جریان هوا طراحی شده خاص، به جذب بدون تماس محکم و پایدار ویفرها دست یابند. این روش عملیاتی غیر تماسی می تواند از تماس مستقیم با ویفرهای نیمه هادی جلوگیری کند و تا حد زیادی از آلودگی ویفر یا آسیب ناشی از تماس فیزیکی جلوگیری کند، که به ویژه در شرایط کاری بسیار تمیز و انتقال ظریف ویفر مناسب است.

عملکرد فیزیکی و شیمیایی قابل اعتماد

سرامیک آلومینا دارای سختی و استحکام عالی است و آلومینا برنولی Semicorex را می سازدبازوهای رباتیکبه خوبی برای جابجایی طولانی مدت ویفرهای نیمه هادی بدون تغییر شکل و آسیب مناسب است.

بازوهای رباتیک Semicorex Alumina Bernoulli همچنین مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی قابل اعتمادی را ارائه می دهند و می توانند در برابر گازهای خورنده چالش برانگیز و محیط های عملیاتی پلاسما مقاومت کنند و دوام ثابتی را در مدت زمان طولانی از خود نشان دهند.

کنترل تمیزی شدید

بازوهای رباتیک Semicorex Alumina Bernoulli از پودر آلومینا با خلوص بالا از طریق پرس ایزواستاتیک دقیق و تف جوشی در دمای بالا ساخته می شوند. این انتخاب دقیق مواد و روش پردازش به بازوهای رباتیک Semicorex alumina Bernoulli اجازه می دهد تا ساختار سرامیکی خالص و متراکم داشته باشند. این به طور قابل توجهی خطرات آلودگی ویفر ناشی از ناخالصی های ناخواسته از شرایط عملیاتی را کاهش می دهد.

کنترل دقیق برتر

بازوهای رباتیک Semicorex آلومینا برنولی که با سنگ زنی و پرداخت دقیق تمام شده اند، دقت ابعادی استثنایی و صافی سطح عالی را ارائه می دهند که آنها را برای تولید نیمه هادی های خودکار با دقت بالا بسیار مناسب می کند. علاوه بر این، بازوهای رباتیک Semicorex alumina Bernoulli از پایداری حرارتی عالی برخوردار هستند، حتی زمانی که در معرض محیط‌هایی با نوسانات شدید دما قرار می‌گیرند، می‌توانند موقعیت‌یابی و دقت حمل و نقل مکرر را حفظ کنند.