اثر پایانی آلومینا

انتخاب ماده برای Semicorex Alumina End Effector به دلیل مناسب بودن منحصر به فرد سرامیک آلومینا با خلوص بالا برای محیط های سختی است که در ساخت نیمه هادی ها با آن مواجه می شوند: 

خلوص استثنایی برای کنترل آلودگی: افکتور انتهایی آلومینا، که دارای سرامیک های آلومینا با خلوص بالا به عنوان بستر است، با سطوح بسیار کم ناخالصی مشخص می شود و این اطمینان را ایجاد نمی کند که آلاینده هایی را وارد کند که می تواند خواص الکتریکی یا عملکرد دستگاه های نیمه هادی حساس را به خطر بیندازد.

پایداری در دمای بالا برای تطبیق پذیری فرآیند:افکتور پایانی آلومینا پایداری حرارتی بسیار خوبی را از خود نشان می دهد و یکپارچگی ساختاری و دقت ابعادی خود را حتی در دماهای بالا که در فرآیندهایی مانند اکسیداسیون حرارتی، انتشار و رسوب بخار شیمیایی با آن مواجه می شود، حفظ می کند.

بی اثری شیمیایی برای محیط های سخت:مقاومت شیمیایی ذاتی اَند افکتور آلومینا آن را در برابر طیف وسیعی از اسیدها، بازها و حلال‌ها که معمولاً در پردازش نیمه‌رسانا استفاده می‌شوند، غیرقابل نفوذ می‌کند. این بی اثری از خوردگی یا تخریب افکتور انتهایی جلوگیری می کند و عملکرد طولانی مدت آن را تضمین می کند و خطر آلودگی ذرات را به حداقل می رساند.

خواص مکانیکی قوی برای عمر طولانی تر:سرامیک های آلومینا به دلیل سختی، مقاومت در برابر سایش و توانایی مقاومت در برابر چرخه های مکرر جابجایی و تمیز کردن بدون تخریب شناخته شده اند. این استحکام به معنای افزایش عمر مفید برای اَند افکتور آلومینا است که هزینه‌های تعویض و زمان خرابی را کاهش می‌دهد.

دقت، خلوص و دوام الومینا انتهای افکتور آن را به یک جزء ضروری در طیف وسیعی از فرآیندهای تولید نیمه هادی های حیاتی تبدیل کرده است:

فتولیتوگرافی:تراز و قرار دادن دقیق ویفر در فتولیتوگرافی بسیار مهم است، جایی که حتی انحرافات جزئی می تواند منجر به خطاهای ناهماهنگی و خرابی دستگاه شود. افکتور انتهایی آلومینا دقت و ثبات لازم را برای این مرحله فرآیند حیاتی فراهم می کند.

پلاناریزاسیون مکانیکی شیمیایی (CMP):توانایی مقاومت در برابر دوغاب های شیمیایی تهاجمی و نیروهای مکانیکی درگیر در CMP باعث می شود که افکتور انتهایی آلومینا برای جابجایی ویفرها در طول این فرآیند حیاتی ایده آل باشد، که سطح ویفر را برای لایه بندی بعدی مسطح می کند.

بازرسی و اندازه‌شناسی ویفر:ماهیت غیرآلودگی و غیر آسیب‌رسان End Effector آلومینا، آن را برای جابجایی ویفرها در طول فرآیندهای بازرسی و اندازه‌شناسی ایده‌آل می‌کند، اطمینان از اندازه‌گیری‌های دقیق و به حداقل رساندن خطر ایجاد نقص.