صفحات پایه نصب آلومینا

صفحات پایه نصب Alumina Semicorex محصولات سرامیکی با خلوص بالا هستند که به عنوان پایه های بادوام و پایدار برای نصب چاک های کار در تجهیزات ساخت نیمه هادی طراحی شده اند. این صفحات پشتیبانی و تراز مکانیکی مهمی را برای عملیات پردازش ویفر مانند سنگ نگاری ، اچ ، رسوب و بازرسی ارائه می دهند. برای اطمینان از اینکه پردازش ویفر با وفاداری مورد نیاز می تواند انجام شود ، تراز دقیق کار چاک با سایر اجزای سیستم ضروری است. این صفحات از طریق تکنیک های پردازش خاص برای سرامیک ها برای دستیابی به صافی لازم ، دوام با دمای بالا و قابلیت اطمینان طولانی مدت برای برآورده کردن نیازهای سخت ساخت نیمه هادی مدرن در محیط های فرآیند و اتاق تمیز تولید می شوند.

صفحات پایه نصب Alumina Semicorex از خلوص بالا ساخته شده اندالومینداشتن سطح خلوص 99.5 ≧ (معمولی). آلومینای با خلوص بالا از خصوصیات مکانیکی و حرارتی خوبی و همچنین سختی برخوردار است. آلومینای با خلوص بالا دارای خواص عایق الکتریکی ذاتی عالی است که همچنین اجازه می دهد این صفحات در کاربردهای خلاء و ولتاژ بالا استفاده شود که در آن تداخل الکتریکی ممکن است مسئله ای باشد. آلومینا در برابر دوچرخه سواری حرارتی مقاوم خواهد بود ، که به صفحات اجازه می دهد تا نسبت به بیشتر مواد ، دقت بعدی را حفظ کنند و برای حفظ تراز یا پایداری ساختاری به دلیل کاهش انبساط حرارتی مفید است. این عامل در اطمینان از تکرارپذیری چاک و تحمل فرآیند ضمنی ، در حالی که بیش از چرخه تولید طولانی کار می کند ، مهم است.

در سیستم های پردازش نیمه هادی ، یک صفحه پایه نصب به سادگی وسیله ای برای اتصال مکانیکی نیست. این وسیله تماس حرارتی بین چاک و بقیه تجهیزات است و برای اتلاف حرارتی ، یکپارچگی ساختاری و جداسازی لرزش بسیار مهم است. اقدامات پردازش مانند (اما محدود به) CVD ، PVD یا کاشت یونی ، که در آن دمای بالا و فشارهای خلاء امری عادی است ، به یک پایه نصب نیاز دارد تا از نظر حرارتی مقاوم باشد ، از نظر شیمیایی بی اثر و مقاوم ، صدا مکانیکی و مقاوم در برابر شوک حرارتی باشد. عدم تحرک شیمیایی بسیار حیاتی است زیرا یک کوه باید با گازهای واکنشی سازگار باشد ، و همچنین شیمی درمانی را تمیز می کند ، عمر مفید کوه را گسترش می دهد و از آلودگی جلوگیری می کند.

هر صفحه پایه نصب آلومینا ساخته شده توسط Hemicorex به تحمل های مورد نیاز OEM های نیمه هادی و یکپارچه سازنده تجهیزات ساخته می شود. صفحات برای اطمینان از حداکثر ثبات و تکرارپذیری به تحمل محکم برای ضخامت ، تغییر ارتفاع و صافی تبدیل می شوند. این صفحات نصب شده را می توان با سوراخ های نصب ، شکاف ها یا پیشخوان ها به مشخصات مشتری برای اسکان بهتر چاک های کاری ، مراحل مکانیکی یا سایر تجهیزات تهیه کرد. سرامیک آلومینا با استفاده از تکنیک های پخت و پز مدرن و دقیق برای بهینه سازی ریزساختار یکنواخت و کیفیت سطح برای اطمینان از تماس حرارتی مداوم و تراز برای استفاده در طول زمان پردازش می شود.

صفحات پایه نصب Alumina Semicorex در انواع برنامه های کاربردی از جمله دستگیرندگان ویفر ، سیستم های انتقال روباتیک ، مجامع خلاء چاک و مراحل اندازه گیری استفاده می شود. این قابلیت اطمینان و دوام در انواع شرایط فرآیند خواستار ، آنها را با تولید کنندگان ابزار به دنبال اجزای سرامیکی قوی ، ماندگار و کم نگهداری ، به محصول انتخابی تبدیل می کند. گروه مهندسی ما با مشتریان همکاری می کند تا راه حل های منحصر به فردی را ارائه دهند که برای هر صفحه مشخص شده است تا حداکثر بهره وری برای تولید در یک نیمه هادی باشد.

صفحات پایه نصب آلومینا بیش از یک پشتیبانی مکانیکی نیستند. این یک مؤلفه اصلی در مهندسی دقیق در صنعت نیمه هادی است. آنها با ثبات مکانیکی عالی ، خلوص و پیکربندی ، آنها از تراز دقیق ، عمر طولانی و عملکرد قابل اعتماد در طیف گسترده ای از ابزارهای فرآیند اطمینان می دهند. برای صفحات پایه نصب با کارایی بالا ، انتظارات بالای تولید کنندگان نیمه هادی امروز ، Trust Semicorex را برآورده می کند.