بازوی ربات آلومینا

بازوی ربات Alumina Semicorex یک قسمت سرامیکی با کارایی بالا است که برای انجام کارهای و انتقال ویفر در تولید نیمه هادی طراحی شده است. این بازوی روباتیک که از سرامیک آلومینای با خلوص بالا (Al₂o₃) ساخته شده است ، انعطاف پذیری ، دقت ، قابلیت اطمینان و دوام در اتاق های تمیز را ارائه می دهد.

آنچه به نفع بازوی روبات آلومینا است ، خواص آن استسرامیکقدرت و سختی مکانیکی. به عنوانالومینخالص تر ساخته شده است ، آلومینا یکپارچگی ساختاری بهتری را حفظ می کند و باعث می شود که در برابر سایش مکانیکی و تغییر شکل مقاومت بیشتری داشته باشد. به عنوان یک ماده ، آلومینا یک انتخاب عالی برای قطعات روباتیک است که در کارهای ظریف و تکراری ویفر استفاده می شود ، یعنی وقتی یک بازوی ربات نیاز به انجام همان عملکرد و برقراری ارتباط با ویفرها دارد ، آن اعوجاج جزئی که توسط بازوی ربات به ویفر اعمال می شود می تواند هزینه ای برای تسهیلات داشته باشد. سختی زیاد ، یعنی سطوح سفت و سخت ، می تواند به مقاومت ساینده و زندگی عملکردی کمک کند ، یعنی گسترش عمر و مدت زمان خدمات/ جایگزینی بر روی یک جزء روباتیک.

فراتر از دوام مکانیکی آن ، بازوی ربات آلومینا نیز یک عایق الکتریکی عالی است. مقاومت تا 10 Ω · سانتی متر است و استحکام عایق تا 15 کیلو ولت در میلی متر در دمای اتاق است ، محیط بسیار ایمن تری برای کار کردن فراهم می کند ، به خصوص هنگام دخالت سیگنال های الکتریکی باید در تجهیزات پردازش کاهش یابد. این امر در هنگام محافظت از اجزای نیمه هادی حساس که بین فرآیندهای با حداقل خطر تخلیه الکترواستاتیک (ESD) انتقال می یابند ، مهم می شود.

سرامیک آلومینا در حفظ ثبات در دماهای بسیار بالا بسیار عالی است. نقطه ذوب در حدود 2050 درجه سانتیگراد است و در برابر دمای بالا در پردازش حرارتی نیمه هادی بدون پیچ و تاب یا دقت بعدی مقاومت خواهد کرد. مقاومت در برابر حرارت زیاد اجازه می دهد تا از بازو در فرآیندهای مانند بازپرداخت سریع حرارتی (RTA) یا رسوب بخار شیمیایی (CVD) استفاده شود ، جایی که تراز دقیق و پایداری حرارتی بسیار مهم است.

یکی دیگر از مزایای مهم بازوی روبات آلومینا بی تحرک آن است. سطح آن به بیشتر مواد تمیز کننده و گازهای پردازش شده در تولید نیمه هادی بی اثر است. بنابراین ، بدون آلودگی باقی خواهد ماند و به آلودگی سطح ویفر کمک نمی کند. این عدم تحرک شیمیایی برای دستیابی به شرایط تولید فوق العاده تمیز و ارائه عملکرد مداوم دستگاه مهم است.

سرامیکهمچنین یک گزینه مقرون به صرفه برای ابزار نیمه هادی است. این ماده به راحتی به عنوان یک ماده اولیه در دسترس است و فرآیندهای ماشینکاری سرامیک آلومینا به خوبی درک شده و به راحتی مقیاس پذیر هستند. این اجازه می دهد تا تحمل های قابل تکرار و مداوم برای قطعات با کیفیت بالا با قیمت رقابتی تولید شود. ترکیبی از عملکرد و قیمت مناسب ، بازوی روبات آلومینا را برای فاب های نصب شده و نیمه هادی ایده آل می کند که در آن به اجزای اتوماسیون قابل اعتماد نیاز دارید که بانک را نمی شکند.

به طور خلاصه ، بازوی روبات آلومینا عملکرد مکانیکی بالایی ، عملکرد دی الکتریک بالا ، مقاومت حرارتی بالا ، عملکرد شیمیایی بالا ، همه با تولید اثبات شده با قیمت اقتصادی را فراهم می کند. در مجموع ، این خصوصیات عملکرد باعث می شود که برای کاربردهای دقیق کار با ویفر در ساخت نیمه هادی ، باعث بهبود عملکرد ، کاهش خطر آلودگی و بهبود اثربخشی تجهیزات کلی شود.