ساختار بشکه برای رآکتور همپایه نیمه هادی

ساختار بشکه ای Semicorex برای راکتور همبستگی نیمه هادی انتخابی مناسب برای کاربردهای گیره گرافیت با کارایی بالا است که به مقاومت در برابر حرارت و خوردگی استثنایی نیاز دارند. پوشش SiC با خلوص بالا و چگالی و رسانایی حرارتی عالی آن، خواص حفاظتی و توزیع گرما عالی را ارائه می‌کند و عملکرد قابل اعتماد و سازگار را حتی در چالش‌برانگیزترین محیط‌ها تضمین می‌کند.

ساختار بشکه ما برای رآکتور همپایه نیمه هادی برای دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام طراحی شده است و از یکنواختی پروفیل حرارتی اطمینان حاصل می کند. این به جلوگیری از هرگونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها کمک می کند و از رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا بر روی تراشه ویفر اطمینان می دهد.

امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد ساختار بشکه برای راکتور همپای نیمه هادی ما بیشتر بدانید.

پارامترهای ساختار بشکه برای راکتور همپایه نیمه هادی

ویژگی های ساختار بشکه برای راکتور همپای نیمه هادی

- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده داشته باشند.

- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.

- کاهش تفاوت در ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثر استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.

- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.

- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.