گیرنده بشکه ای برای اپیتاکسی فاز مایع

اگر به یک گیره گرافیتی نیاز دارید که بتواند به طور قابل اعتماد و پایدار حتی در محیط‌های با دمای بالا و خورنده‌ترین محیط‌ها کار کند، گیره‌گیر بشکه‌ای Semicorex برای اپیتاکسی فاز مایع بهترین انتخاب است. پوشش سیلیکون کاربید آن هدایت حرارتی و توزیع حرارت عالی را فراهم می کند و عملکرد استثنایی را در کاربردهای تولید نیمه هادی تضمین می کند.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Semicorex Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy انتخابی مناسب برای کاربردهای تولید نیمه هادی است که به مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا نیاز دارند. پوشش SiC با خلوص بالا و رسانایی حرارتی استثنایی آن، خواص حفاظتی و توزیع حرارت عالی را ارائه می‌کند و عملکرد قابل اعتماد و پایدار را حتی در چالش‌برانگیزترین محیط‌ها تضمین می‌کند.

گیرنده بشکه ای ما برای اپیتاکسی فاز مایع برای دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام طراحی شده است و از یکنواختی پروفیل حرارتی اطمینان حاصل می کند. این به جلوگیری از هرگونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها کمک می کند و از رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا بر روی تراشه ویفر اطمینان می دهد.

امروز با ما تماس بگیرید تا درباره اپیتاکسی فاز مایع بیشتر بدانید.

پارامترهای گیرنده بشکه برای اپیتاکسی فاز مایع

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز β FCC
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	میکرومتر	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت حرارتی	J kg-1 K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (4pt خم، 1300℃)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
هدایت حرارتی	(W/mK)	300

ویژگی های Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy

- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده ایفا کنند.

- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.

- کاهش تفاوت در ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثر استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.

- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.

- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.