گیرنده بشکه ای برای اپیتاکسی فاز مایع

Semicorex Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy انتخابی مناسب برای کاربردهای تولید نیمه هادی است که به مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا نیاز دارند. پوشش SiC با خلوص بالا و رسانایی حرارتی استثنایی آن خواص حفاظتی و توزیع حرارت عالی را ارائه می‌کند و عملکرد قابل اعتماد و پایدار را حتی در چالش‌برانگیزترین محیط‌ها تضمین می‌کند.

گیرنده بشکه ای ما برای اپیتاکسی فاز مایع برای دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام طراحی شده است و از یکنواختی پروفیل حرارتی اطمینان حاصل می کند. این به جلوگیری از هرگونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها کمک می کند و از رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا بر روی تراشه ویفر اطمینان می دهد.

امروز با ما تماس بگیرید تا درباره اپیتاکسی فاز مایع بیشتر بدانید.

پارامترهای گیرنده بشکه برای اپیتاکسی فاز مایع

ویژگی های Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy

- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده داشته باشند.

- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.

- کاهش اختلاف ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثری استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.

- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.

- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.