سینی پشتیبانی بوته

در تولید نیمه هادی با دمای بالا، ثبات و دقت برای تضمین کیفیت کریستال ثابت بسیار مهم است. سینی پشتیبانی بوته Semicorex نقشی حیاتی و در عین حال اغلب نادیده گرفته شده در حفظ یکپارچگی فرآیند رشد کریستال با ارائه یک پایه قابل اعتماد در شرایط حرارتی و مکانیکی شدید ایفا می کند.

سینی پشتیبانی بوته، همچنین به عنوان شناخته شده استکربن/کربن (C/C)نگهدارنده بوته، به طور خاص برای پشتیبانی از بوته های کوارتز یا گرافیت در طول رشد سیلیکون تک کریستال طراحی شده است. این جزء که در پایه میدان حرارتی قرار دارد، باید در مقابل قرار گرفتن طولانی مدت در برابر دماهای بالا مقاومت کند و در عین حال یکپارچگی ساختاری و پایداری ابعادی را حفظ کند. طراحی قوی آن تضمین می کند که بوته در طول فرآیند به طور ایمن در موقعیت خود باقی می ماند و لرزش، تغییر شکل یا ناهماهنگی را به حداقل می رساند که می تواند بر کیفیت کریستال تأثیر منفی بگذارد.

نقش سینی پشتیبانی C/C

در طول رشد سیلیکون تک کریستالی، دما اغلب از 1400 درجه سانتیگراد فراتر می رود. مواد گرافیتی سنتی، در حالی که مفید هستند، اغلب با چالش هایی در رابطه با طول عمر و تغییر شکل تحت وزن سنگین سیلیکون مذاب مواجه هستند. سینی پشتیبانی بوته کامپوزیت C/C ما این نقاط درد را حل می کند.

این سینی با استفاده از یک ماتریس تقویت شده با فیبر کربن با مقاومت بالا، مشخصات انبساط حرارتی "نزدیک به صفر" و ظرفیت تحمل بار استثنایی را ارائه می دهد. این به عنوان رابط بین بوته و شفت دوار عمل می کند و یک صفحه کاملاً تراز را برای جلوگیری از تلاطم مذاب و نقص کریستال حفظ می کند.

مشخصات فنی و برتری مواد

چگالی: ≥ 1.3 گرم بر سانتی متر مکعب

قدرت خمشی: ≥ 110 مگاپاسکال

ضریب انبساط حرارتی (CTE): ≤ 1.0 × 10-6 /K

مقاومت فشاری: ≥ 160 مگاپاسکال