کوره های رسوب بخار شیمیایی CVD

کوره های رسوب بخار شیمیایی Semicorex CVD ساخت اپیتاکسی با کیفیت بالا را کارآمدتر می کند. ما راه حل های کوره سفارشی را ارائه می دهیم. کوره های رسوب بخار شیمیایی CVD ما مزیت قیمت خوبی دارند و بیشتر بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهند. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

کوره‌های رسوب شیمیایی Semicorex CVD که برای CVD و CVI طراحی شده‌اند، برای رسوب مواد بر روی یک بستر استفاده می‌شوند. دمای واکنش تا 2200 درجه سانتیگراد. کنترل جریان جرم و شیرهای تعدیل کننده واکنش دهنده و گازهای حامل مانند N، H، Ar، CO2، متان، تتراکلرید سیلیکون، متیل تری کلروسیلان و آمونیاک را هماهنگ می کند. مواد ته نشین شده شامل کاربید سیلیکون، کربن پیرولیتیک، نیترید بور، سلنید روی و سولفید روی است. کوره های رسوب بخار شیمیایی CVD دارای ساختار افقی و عمودی هستند.

کاربرد:پوشش SiC برای مواد کامپوزیت C/C، پوشش SiC برای گرافیت، پوشش SiC، BN و ZrC برای الیاف و غیره.

ویژگی های کوره های رسوب بخار شیمیایی Semicorex CVD

1. طراحی قوی ساخته شده از مواد با کیفیت بالا برای استفاده طولانی مدت.

2. تحویل گاز با کنترل دقیق از طریق استفاده از کنترل کننده های جریان جرمی و شیرهای با کیفیت بالا.

3. مجهز به ویژگی های ایمنی مانند حفاظت از دمای بیش از حد و تشخیص نشت گاز برای عملیات ایمن و قابل اعتماد.

4. استفاده از مناطق کنترل دما متعدد، یکنواختی درجه حرارت عالی.

5. محفظه رسوب با طراحی خاص با اثر آب بندی خوب و عملکرد عالی ضد آلودگی.

6. استفاده از کانال های رسوب گذاری متعدد با جریان گاز یکنواخت، بدون گوشه های مرده رسوب و سطح رسوب کامل.

7. دارای درمان برای قطران، گرد و غبار جامد، و گازهای آلی در طول فرآیند رسوب

مشخصات کوره CVD
مدل	اندازه منطقه کاری (W × H × L) میلی متر	حداکثر دما (درجه سانتیگراد)	درجه حرارت یکنواختی (°C)	خلاء نهایی (Pa)	نرخ افزایش فشار (Pa/h)
LFH-6900-SiC	600×600×900	1500	7.5 ±	1-100	0.67
LFH-10015-SiC	1000×1000×1500	1500	7.5 ±	1-100	0.67
LFH-1220-SiC	1200×1200×2000	1500	± 10	1-100	0.67
LFH-1530-SiC	1500×1500×3000	1500	± 10	1-100	0.67
LFH-2535-SiC	2500×2000×3500	1500	± 10	1-100	0.67
LFV-D3050-SiC	300×500	1500	± 5	1-100	0.67
LFV-D6080-SiC	600×800	1500	7.5 ±	1-100	0.67
LFV-D8120-SiC	800×1200	1500	7.5 ±	1-100	0.67
LFV-D11-SiC	1100×2000	1500	± 10	1-100	0.67
LFV-D26-SiC	2600×3200	1500	± 10	1-100	0.67

* پارامترهای فوق را می توان با الزامات فرآیند تنظیم کرد، آنها به عنوان استاندارد پذیرش، مشخصات جزئیات نیستند. در پروپوزال فنی و موافقت نامه ها بیان خواهد شد.