با چگالی و رسانایی حرارتی عالی، گیره بشکه ای با پوشش SiC بادوام برای LPE انتخابی ایده آل برای استفاده در فرآیندهای LPE و سایر کاربردهای تولید نیمه هادی است. پوشش SiC با خلوص بالا، خواص حفاظتی و توزیع حرارت عالی را ارائه میکند و آن را به انتخابی مناسب برای نتایج قابل اعتماد و ثابت تبدیل میکند.
اگر به یک گیره گرافیت با کیفیت بالا با مقاومت بالا در برابر حرارت و خوردگی نیاز دارید، به سراغ گیره بشکه ای با پوشش SiC بادوام برای LPE بروید. پوشش کاربید سیلیکون آن هدایت حرارتی و توزیع حرارت استثنایی را فراهم می کند و عملکرد قابل اعتماد و پایدار را حتی در سخت ترین محیط های با دمای بالا تضمین می کند.
گیره بشکه ای با پوشش SiC بادوام برای LPE برای دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام طراحی شده است و از یکنواختی پروفیل حرارتی اطمینان حاصل می کند. این به جلوگیری از هرگونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها کمک می کند و از رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا بر روی تراشه ویفر اطمینان می دهد.
امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد گیره بشکه ای با پوشش SiC بادوام برای LPE بیشتر بدانید.
پارامترهای محافظ بشکه ای با پوشش SiC بادوام برای LPE
مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC |
||
ویژگی های SiC-CVD |
||
ساختار کریستالی |
فاز FCC β |
|
تراکم |
g/cm³ |
3.21 |
سختی |
سختی ویکرز |
2500 |
اندازه دانه |
¼ دقیقه |
2 تا 10 |
خلوص شیمیایی |
% |
99.99995 |
ظرفیت گرمایی |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
دمای تصعید |
℃ |
2700 |
قدرت فلکسورال |
MPa (RT 4 نقطه ای) |
415 |
مدول یانگ |
Gpa (خم 4pt، 1300) |
430 |
انبساط حرارتی (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
رسانایی گرمایی |
(W/mK) |
300 |
ویژگی های محافظ بشکه ای با پوشش SiC بادوام برای LPE
- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده داشته باشند.
- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.
- کاهش اختلاف ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثری استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.
- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.
- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.