پوشش کربن شیشه ای احساس می شود

روکش کربن شیشه ای نیمورکس به عنوان یک لایه عایق داخلی در راکتورهای اپیتاکسیال کاربید سیلیکون عمل می کند. این یک ماده عایق با کارایی بالا است که برای محیط های حرارتی پیشرفته طراحی شده است. این محصول با ارائه راه حل های برتر به دلیل خاصیت عایق بندی حرارتی سبک و عالی ، بر چالش های تولید با دمای بالا و با دمای بالا غلبه می کندگرافیت احساس می کندهمراه با یکپارچگی سطح و عدم تحرک شیمیایی که توسط یک پوشش کربن شیشه ای منتقل می شود.

ماده پایه یک خلوص بالا استگرافیت احساس می کندبرای هدایت حرارتی کم پایداری دمای بالا و وزن سبک انتخاب کرد. گرافیت طبیعی احساس می کند که معمولاً دارای ریخته گری فیبر سطحی و تولید ذرات در دماهای بالا است که می تواند محیط فرآیند را در سیستم های حساس اپیتاکسیال آلوده کند. برای کاهش این مسئله ، سطح نمد گرافیت به طور یکنواخت با یک لایه کربن شیشه ای پوشش داده می شود-یک شکل متراکم و غیر متخلخل کربن که به دلیل عدم تحرک شیمیایی آن ، نفوذپذیری گاز کم و پایداری حرارتی استثنایی شناخته شده است.

کربن شیشه ای یک کربن غیر گرا است که ترکیب خواص شیشه و سرامیک است. برخلاف گرافیت کریستالی ، این ماده کربن ترکیبی تقریباً 100 ٪ SP2 آمورف ، تقریباً 100 ٪ SP2 است که با پخت و پز درجه حرارت بالا از پیش سازهای آلی پلیمریزه شده ، مانند رزین فنولیک ، رزین الکل فرفوریل و غیره ، در یک جو گاز بی اثر تشکیل می شود. از آنجا که در کل سیاه است و سطح صافی شبیه به شیشه دارد ، به آن کربن شیشه ای گفته می شود.

روکش کربن شیشه ای می تواند تولید ذرات کوره را از بین ببرد ، منافذ سطح پلمپ شده را فراهم کند ، دارای خواص دفع کننده عالی و کاهش نفوذپذیری باشد ، و این ماده را برای قالب ها و محصولات ریخته گری مداوم در صنعت نیمه هادی بسیار مناسب می کند. این ماده دارای طیف گسترده ای از برنامه های کاربردی در صنعت نیمه هادی است ، به خصوص در قسمت های گرافیتی مانند اجزای تجهیزات کشویی کریستالی تک کریستال ، اجزای رشد اپیتاکسیال ، قالب های ریخته گری مداوم ، جیگ های آب بندی شیشه ای و غیره.

کربن شیشه ای در گاز یا خلاء بی اثر از مقاومت در برابر دمای بالا تا 3000 درجه سانتیگراد برخوردار است و برخلاف سایر مواد با دمای بالا سرامیکی و فلزی ، استحکام کربن شیشه ای با افزایش درجه حرارت تا 2700k افزایش می یابد و از نظر شکننده نیست و مقاومت در برابر شوک حرارتی بسیار بالایی دارد ، بنابراین زمان گرمایش و خنک کننده مشکل نیست. علاوه بر این ، کربن شیشه ای دارای جرم کم ، جذب گرمای کم و انبساط حرارتی کم است ، بنابراین تقریباً برای همه کاربردهای درجه حرارت بالا مناسب است.

پوشش کربن شیشه ای نقش مهمی در آب بندی منافذ سطح گرافیت احساس می کند و باعث کاهش چشمگیر انتشار ذرات و گرد و غبار کربن در حین کار می شود. این امر به ویژه در فرآیندهای رشد اپیتاکسیال SIC بسیار مهم است ، جایی که حتی آلودگی حداقل می تواند کیفیت ویفر و عملکرد دستگاه را به خطر بیاندازد. این پوشش با محصور کردن ساختار متخلخل احساس با یک پوسته کربن شیشه ای صاف و سخت ، یک محیط حرارتی تمیز و پایدار را در محفظه واکنش تضمین می کند.

مزایای اصلی پوشش کربن شیشه ای احساس می شود:

کاهش ذرات کاهش یافته: پوشش متراکم به طور موثری در الیاف و ذرات سست قفل می شود و از آلودگی ویفر و اجزای راکتور جلوگیری می کند.

پایداری حرارتی بالا: هر دو احساس گرافیت و کربن شیشه ای می توانند در برابر دمای بیش از 2000 درجه سانتیگراد در جوهای بی اثر یا خلاء مقاومت کنند و این محصول را برای فرآیندهای SIC با درجه حرارت بالا ایده آل می کند.

عدم تحرک شیمیایی: سطح کربن شیشه ای در بیشتر اسیدها و گازهای خورنده مقاوم است و عمر عملیاتی لایه عایق را در شرایط سخت گسترش می دهد.

سازگاری فرآیند بهبود یافته: تولید ذرات به حداقل رساندن به یک محیط رشد اپیتاکسیال پایدار و تکرار شونده کمک می کند ، که برای تولید ویفرهای SIC با کیفیت بالا ضروری است.

کاربردهای پوشش کربن شیشه ای در درجه اول به کوره های رشد اپیتاکسیال SIC گسترش می یابد ، جایی که از آن به عنوان یک لایه عایق حرارتی در منطقه گرم استفاده می شود. این محصول به طور معمول به عنوان یک ماده آستر در پشته های عایق بالا یا پایین نصب می شود ، جایی که هم محافظت حرارتی و هم تضمین تمیز بودن را فراهم می کند.