گرافیت چاک

چاک گرافیت نیمه نیمه مهندسی شده استگرافیت تخصصی، به دلیل مقاومت در برابر حرارتی و شیمیایی برجسته آن شناخته شده است. یک نمونه منحصر به فرد از چنین چاک گرافیتی که به طور خاص از آن شکل گرافیت ساخته شده است زیرا به دلیل مقاومت بسیار زیاد در برابر مواد شیمیایی و گرما شناخته شده است. این امر باعث می شود تا چاک ها بسیار ماندگار باشند و آنها در سخت ترین شرایط تحت استفاده در رسوب بخار شیمیایی (CVD) یا اچینگ پلاسما یا حتی در یک کوره با درجه حرارت بالا عمل می کنند. به همین ترتیب ، خلوص بالا با ناخالصی های بسیار کم در حال حاضر به این معنی است که در هنگام تولید پلیسیلیکون باعث آلودگی نمی شوند. آنها قادر به تحمل درجه حرارت بسیار بالاتر از 2000 درجه سانتیگراد و بدون تغییر شکل قابل توجه هستند زیرا از طریق افزایش درجه حرارت بسیار پایدار هستند. علاوه بر این ، آنها همچنین در برابر بیشتر مواد شیمیایی مقاومت فوق العاده ای دارند و بنابراین در شرایط بسیار دشواری مانند اسید هیدروکلریک (هیدروکلراید) یا تتراکلرید سیلیکون (SICL4) زنده می مانند. قدرت مکانیکی بالا به معنای این است که چاک قادر به حفظ فرم خود حتی در صورت قرار دادن بار مداوم است.

چاک گرافیت در پردازش ویفر و رشد کریستال ها بسیار مهم است. آنها در هر مرحله ، مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD) ، نقش اصلی را در همه تولید ها ایفا می کنند ، جایی که آنها از رسوب سیلیکون یکنواخت اطمینان حاصل می کنند. در حین برش و پولیش ، آنها پشتیبانی پایدار برای برش ویفر و اتمام سطح دارند. در پردازش حرارتی ، آنها به عنوان یک پایه مقاوم در برابر گرما برای فرآیندهای پخت ویفر سیلیکون و دوپینگ عمل می کنند ، به طور قابل توجهی باعث افزایش کارایی و کیفیت خط تولید می شوند.

چگونه یکنواختی عملکرد خود را تضمین کنیمگرافیت?

اول ، کربن سازی. کوره ما فقط 115 متر مکعب دارد. تیم فنی ما زمینه دمای محصولات گرافیتی را در مناطق مختلف هر کوره آزمایش می کند. در حالت دمای پایین (0-200 درجه) هنگامی که دما شروع به افزایش می کند ، ما آن را در حدود 10 ± ° کنترل خواهیم کرد و در حالت درجه حرارت بالا (بالاتر از 600 درجه) ، ما آن را در 1 درجه کنترل خواهیم کرد. ما نه تنها میدان دما را بین گرافیت های مختلف آزمایش خواهیم کرد ، بلکه سطح و دمای داخلی هر قطعه از مواد گرافیتی را نیز آزمایش می کنیم و آن را در 3 ± کنترل می کنیم. ما 8 نقطه دما را در هر کوره در کوره کربن سازی آزمایش می کنیم.

مورد دوم گرافیت است. با استفاده از 500 کیلوگرم به عنوان نمونه ، ما همچنین 8 نقطه دما را آزمایش خواهیم کرد. نمونه ها به طور تصادفی در هر موقعیتی از محصول گرافیکی برای آزمایش مخرب مورد بازرسی قرار می گیرند. پس از تخریب ، 24 امتیاز آزمایش می شود. آزمایشات به طور جداگانه از محور XYZ انجام می شود تا از یکنواختی آن اطمینان حاصل شود. بیشتر شرکت های این صنعت فقط محور X یا حداکثر محور XY را آزمایش می کنند.

تولید کنندگان عمومی فقط 6-8 امتیاز را آزمایش می کنند و بهتر است 12 امتیاز را تست کنیم ، در حالی که ما 24 امتیاز را آزمایش می کنیم.

Chuck Graphite Semicorex یک راه حل ضروری برای تولید کنندگان Polysilicon است که به دنبال ابزار با کارایی بالا ، قابل اعتماد و مقرون به صرفه هستند. با داشتن خصوصیات پیشرفته مواد و مهندسی دقیق ، محصول ما باعث افزایش کارایی و کیفیت تولید ویفر سیلیکون در صنعت خورشیدی می شود. برای اطلاعات بیشتر یا مشخصات سفارشی ، لطفاً امروز با ما تماس بگیرید.