الکترود گرافیت

الکترود گرافیتی Semicorex یک جزء گرافیتی با خلوص بالا و با دقت بالا برای استفاده در کاربردهای حرارتی نیمه هادی است، جایی که هدایت الکتریکی، پایداری حرارتی و دقت ابعادی بسیار مهم است. در واقع، این نوع الکترودها در کوره‌های با دمای بالا، راکتورهای اپیتاکسی و محفظه‌های پردازش حرارتی استفاده می‌شوند که هدایت جریان پایدار، انتقال حرارت و پایداری را در شرایط تهاجمی دما و جو تسهیل می‌کنند. با توجه به خلوص فوق العاده، یکنواختی ساختار جامد و خواص مکانیکی بالای الکترودهای گرافیتی Semicorex، آنها می توانند عملکرد حرارتی قابل اعتمادی را به عنوان عناصر گرمایشی در کاربردهای نیمه هادی سخت ارائه دهند.

الکترود گرافیت از مواد گرافیت ریزدانه با کیفیت بالا ساخته شده است، هر یک از آنها با استفاده از یک توالی پیشرفته اکستروژن، کربنیزاسیون در دمای بالا و گرافیت سازی ساخته شده است. ریزساختار گرافیت برای مقاومت الکتریکی تقریباً ثابت، هدایت حرارتی بالا و پایداری مکانیکی طراحی شده است. محصول نهایی یک رسانای حرارتی با خلوص بالا است که شرایط فیزیکی و توزیع یکنواخت جریان را در محیط های با توان بالا و همچنین نوسانات سریع دما حفظ می کند.

عملکرد فوق العاده در ماگرافیت

گرافیت ما یکنواختی عملکرد برتر را تضمین می کند. اولاً، در طی فرآیند کربنیزاسیون، کوره های ما فقط 115 متر مکعب دارند. تیم فنی ما میدان دمایی محصولات گرافیتی را در مناطق مختلف هر کوره نظارت می کند. در مرحله اولیه دمای پایین (0-200 درجه سانتیگراد)، دما را در 10± درجه سانتیگراد و در دماهای بالا (بالای 600 درجه سانتیگراد)، در محدوده 1± درجه سانتیگراد کنترل می کنیم. ما نه تنها میدان دما را بین ذرات مختلف گرافیت، بلکه سطح و دمای داخلی هر قطعه گرافیت جداگانه را نیز کنترل می‌کنیم و آن را در دمای 3± درجه سانتیگراد کنترل می‌کنیم. ما 8 نقطه دما را در هر کوره کربنیزاسیون نظارت می کنیم.

ثانیاً، در طول فرآیند گرافیتی سازی، با در نظر گرفتن یک دسته 500 کیلوگرمی به عنوان مثال، 8 نقطه دمایی را نیز کنترل می کنیم. پس از گرافیت سازی، ۲۴ نقطه را در امتداد محورهای X، Y و Z به طور تصادفی نمونه برداری و آزمایش می کنیم تا از یکنواختی اطمینان حاصل کنیم. اکثر شرکت‌های فعال در صنعت فقط محور X یا حداکثر محور XY را آزمایش می‌کنند، که تولیدکنندگان معمولی تنها 6-8 امتیاز را آزمایش می‌کنند و شرکت‌های بهتر 12 امتیاز را آزمایش می‌کنند. ما 24 امتیاز را تست می کنیم.

در زمینه حرارتی نیمه هادی، الکترود گرافیتی بخش مهمی از مجموعه گرمایشی است که جریان الکتریکی را به منطقه گرمایش هدایت می کند و امکان توزیع کنترل شده دما را در یک فرآیند خاص مانند اکسیداسیون، انتشار، LPCVD یا اپیتاکسی فراهم می کند. الکترود گرافیتی باید در دماهای بیش از 2000 درجه سانتیگراد نقش عملیاتی قابل اعتمادی داشته باشد و این کار را در حالی انجام دهد که در مقابل اکسیداسیون، تاب برداشتن یا آلودگی محل گرمایش مقاومت می کند.

الکترودهای گرافیتی Semicorex دارای رسانایی الکتریکی فوق‌العاده‌ای هستند که انتقال توان مؤثر را با حداقل تلفات تسهیل می‌کند و دارای رسانایی حرارتی عالی هستند که امکان انتقال سریع حرارت یکنواخت را در کوره فراهم می‌کند. ترکیبی از انبساط حرارتی کم و استحکام مکانیکی بالا، تغییر شکل و ترک خوردگی را در طول چرخه حرارتی کاهش می‌دهد و رفتار پایداری را در طول عمر طولانی مدت ایجاد می‌کند. هر الکترود برای اطمینان از تماس ثابت و مقاومت الکتریکی ناچیز در سطح تماس، با تلورانس‌های ابعادی دقیق و پرداخت سطحی ظریف ماشین‌کاری می‌شود.

با در نظر گرفتن الزامات خاص فرآیندهای نیمه هادی، Semicorex می تواند طرح های الکترود سفارشی را برای تناسب با هر پیکربندی کوره و مشخصات توان مهندسی کند. قطرها، طول‌ها، انواع اتصالات یا پوشش‌های سطحی مختلف می‌تواند در دسترس باشد. در صورت لزوم، مواد پوششی مانند SiC یا کربن پیرولیتیک را می توان برای حمایت از مقاومت در برابر اکسیداسیون و عمر مفید در محیط های با اکسیژن بالا یا گاز واکنش پذیر اعمال کرد.

خلوص بالا ازمواد گرافیتبرای اطمینان از سطوح فوق‌العاده پایین ناخالصی‌های فلزی (و ناخالصی‌های گازی)، اغلب بیش از 99.999 درصد کربن. چنین سطوح پایین ناخالصی به جلوگیری از آلوده شدن ویفرهای نیمه هادی در طول پردازش حرارتی کمک می کند. همراه با عمق قابل توجه ماشینکاری و پرداخت سطح صیقلی، الکترودهای گرافیتی Semicorex پایداری مکانیکی و شیمیایی پیشرفته‌ترین فناوری‌های ساخت ویفر را برآورده می‌کنند.

الکترود گرافیتی Semicorex چه در کوره های انتشار، چه در راکتورهای اپیتاکسیال یا تجهیزات پردازش با دمای بالا استفاده شود، عملکرد بی نظیری را در سخت ترین محیط های حرارتی ارائه می دهد. Semicorex با ترکیب خلوص بالا، هندسه دقیق و پردازش مواد پیشرفته، یک محلول الکترودی ارائه می‌کند که هدایت جریان پایدار، گرمایش مداوم و قابلیت اطمینان عملیاتی طولانی‌مدت را برای تولید نیمه‌رساناهای نسل بعدی تضمین می‌کند.