بخاری گرافیت برای منطقه داغ

توزیع همگن دما:گرم‌کن Graphite Heater For Hot Zone به دلیل ویژگی‌های گرمایش یکنواخت خود که از طریق ترکیبی از پردازش دقیق مواد و ماشین‌کاری دقیق به دست می‌آید، مشهور است. این همگنی یک پروفیل دمایی ثابت را در کل سطح گرمایش تضمین می‌کند و گرادیان‌های حرارتی را به حداقل می‌رساند که می‌تواند منجر به پردازش ناهموار ویفر، کاهش بازده و عملکرد ناسازگار دستگاه شود.

مقاومت در برابر خوردگی استثنایی:گرمکن گرافیتی برای منطقه داغ مقاومت قابل توجهی در برابر انواع گازهای خورنده و مواد شیمیایی که معمولاً در پردازش نیمه هادی در دمای بالا با آن مواجه می شوند، نشان می دهد. این بی اثری ذاتی پایداری و عملکرد بخاری طولانی مدت را تضمین می کند، خطرات آلودگی را به حداقل می رساند و طول عمر عملیاتی را افزایش می دهد.

مقاومت در برابر اکسیداسیون برتر:برخلاف گرافیت معمولی، گرمکن Graphite Heater For Hot Zone، حتی در دماهای بالا، مقاومت بالایی در برابر اکسیداسیون دارد. این ویژگی برای حفظ یکپارچگی بخاری و جلوگیری از تشکیل آلودگی ذرات در محفظه پردازش بسیار مهم است.

خلوص شیمیایی فوق العاده بالا:گرمکن Graphite Heater For Hot Zone برای دستیابی به سطوح خلوص فوق‌العاده بالا پردازش می‌شود و خطر ورود آلاینده‌های ناخواسته به محیط پردازش نیمه‌رسانا را به حداقل می‌رساند. این خلوص استثنایی برای حفظ یکپارچگی مواد نیمه هادی ظریف و اطمینان از خواص الکتریکی و نوری مطلوب دستگاه های ساخته شده ضروری است.

استحکام و پایداری مکانیکی بالا:گرمکن گرافیتی برای منطقه داغ دارای استحکام مکانیکی و ثبات ابعادی فوق‌العاده‌ای در دماهای بالا است که امکان ساخت اجزای بخاری مقاوم را فراهم می‌کند که قادر به مقاومت در برابر سختی‌های عملیات در دمای بالا، از جمله چرخه حرارتی و استرس مکانیکی هستند.