قایق های ویفر کوارتز افقی

قایق های ویفر کوارتز افقیمعمولاً ویفرهای نیمه هادی را به صورت افقی در داخل لوله های کوره تجهیزات عملیات حرارتی نگه می دارند که توسط دستگاه های گرمایش خارجی گرم می شوند. آنها به طور گسترده ای در فرآیندهای عملیات حرارتی نیمه هادی خورنده با دمای بالا مانند اکسیداسیون حرارتی، انتشار در دمای بالا، بازپخت و رسوب بخار شیمیایی (CVD) استفاده می شوند.

عملکرد قایق های ویفر کوارتز افقی Semicorex

1. نگه داشتن و ایمن سازی پایدار

قایق های ویفر کوارتز افقی Semicorex ظرفیت باربری بسیار خوبی دارند و می توانند به طور مداوم از چندین ویفر نیمه هادی پشتیبانی کنند. و طراحی خارجی بهینه و ساختار دقیق شکاف آنها هر کدام را تضمین می کندویفرکاملاً بر روی قایق های ویفر کوارتز افقی نصب شده و محکم شده است که به طور قابل توجهی خراش ها و برخوردهای ویفر ناشی از لرزش، جابجایی و کج شدن در طول فرآیندهای حمل و نقل و ساخت را کاهش می دهد.

2. کمک یکنواختی فرآیند

ساختار شکاف با فاصله یکسان قایق های ویفر کوارتز افقی امکان قرارگیری منظم ویفرهای نیمه هادی را فراهم می کند، بنابراین یک میدان جریان گاز پایدار و صاف در کوره های با دمای بالا ایجاد می کند. طراحی ساختاری تماس گاز و سرعت واکنش ثابتی را در هر سطح ویفر به دست می‌آورد، در نتیجه به طور موثر عیوب مختلف ناشی از گرمایش ناهموار و تماس دیفرانسیل گاز، مانند اکسیداسیون ناقص ویفر، رسوب ناهموار لایه نازک، و انحراف غلظت دوپینگ را کاهش می‌دهد.

3. عمر طولانی مدت

به لطف مقاومت برتر مواد کوارتز در دمای بالا، قایق های ویفر کوارتز افقی Semicorex می توانند در دمای بالای 1100-1200 درجه سانتیگراد برای مدت طولانی بدون تغییر شکل یا ذوب مقاومت کنند.کوارتزاز نظر شیمیایی نسبت به گازهایی که معمولاً در فرآیندهای نیمه هادی استفاده می شوند مانند اکسیژن، نیتروژن و کلرید هیدروژن بی اثر است. این بی‌اثری شیمیایی استثنایی می‌تواند خطر خوردگی ناشی از گازهای فرآیند را به حداقل برساند، عمر سرویس را تا حد زیادی افزایش داده و زمان و هزینه‌های تعویض تجهیزات را کاهش می‌دهد.