ویفر کاست افقی

خواص مواد

کاست ویفر افقی Semicorex یک ابزار حیاتی در صنعت نیمه هادی برای محافظت و جابجایی ویفرها در مراحل مختلف تولید است. این کاست ها که اغلب به آنها ویفر حامل می گویند، برای نگهداری و جابجایی چندین ویفر با اندازه یکسان طراحی شده اند. آنها عملکرد عالی را در شرایط مختلف تولید با برآورده کردن الزامات فرآیندی خاص مانند پردازش حرارتی تضمین می کنند و در طیف گسترده ای از مواد موجود هستند.

انتخاب مواد مختلف

کاست های ویفر افقی در انواع مواد با کارایی بالا برای برآوردن نیازهای مختلف ساخت نیمه هادی ها عرضه می شوند. اینها مقاومت شیمیایی و پایداری حرارتی فوق العاده ای را ارائه می دهند و شامل PVDF، ECTFE Halar، PFA تفلون و PTFE تفلون هستند. گزینه های فولاد ضد زنگ مانند 304L و 316 برای کاربردهایی که نیاز به افزایش استحکام مکانیکی و مقاومت در برابر خوردگی دارند توصیه می شود. پلی پروپیلن طبیعی نیز به دلیل ویژگی های اقتصادی و سبک وزن آن استفاده می شود که در عین حفظ یکپارچگی فرآیند جابجایی ویفر، انعطاف پذیری در کاربرد را فراهم می کند.

ویژگی های طراحی پیشرفته

با ویژگی‌هایی که می‌توان آن‌ها را برای برآوردن نیازهای عملیاتی خاص تنظیم کرد، کاست‌های ویفر افقی به سختی ساخته می‌شوند. اینها شامل پروفیل های بازکن جانبی، نقاط تماس بستر، گام و فاصله بستر، و اندازه ها و اشکال قابل تغییر هستند. سازگاری آنها در فرآیندهای مختلف با تطبیق پذیری آنها در جهت گیری بستر و ظرفیت آنها برای رسیدگی به طیف وسیعی از اندازه های بستر افزایش می یابد. علاوه بر این، ویژگی‌های اتوماسیون و قابلیت‌های جابجایی کاست، مانند دسته‌های جداشدنی برای راحتی بیشتر، را می‌توان به این کاست‌ها اضافه کرد.

برنامه های کاربردی

در تولید نیمه هادی، استفاده از کاست های ویفر افقی برای تضمین حمل و نقل ایمن و موثر ویفرها در مراحل مختلف ضروری است.

کاست‌های ویفر افقی از مواد محکم و باکیفیت ساخته شده‌اند و دفاعی قوی در برابر آسیب‌های فیزیکی و آلودگی ارائه می‌دهند که دو مشکل اصلی در تنظیمات نیمه‌رسانا هستند. معماری کاست ها از ویفرهای شکننده در هنگام نگهداری و حمل و نقل با کاهش قرار گرفتن در معرض هر گونه آلودگی محافظت می کند.

تمیز کردن و خشک کردن بهبود یافته

نتایج بهتر شستشو و خشک کردن با فضای باز بزرگ در طراحی کاست های ویفر افقی امکان پذیر است. این ویژگی برای حفظ تمیزی ویفر، که احتمال نقص را کاهش می دهد و کالیبر دستگاه های نیمه هادی تمام شده را بهبود می بخشد، بسیار مهم است.

کارایی جریان و پردازش شیمیایی

به منظور به حداقل رساندن لکه های تله مواد و به حداکثر رساندن دینامیک جریان شیمیایی، کاست های ویفر افقی طراحی شده اند. برای بهبود جریان شیمیایی و تضمین پوشش کامل و پردازش کارآمد در حمام های شیمیایی، تعدادی ویژگی اضافی را می توان اضافه کرد.

حمل و نقل ایمن و تراز ویفرها

طراحی ویفر کاست افقی با تراز دقیق ویفر مشخص می شود، که تضمین می کند که ویفرها در هنگام حمل و نقل در موقعیت خود ثابت نگه داشته شوند. این امر احتمال شکستگی یا ناهماهنگی را کاهش می دهد، که می تواند منجر به نقص های گران قیمت یا تاخیر در فرآیند شود. به منظور حفظ یکپارچگی فرآیند تولید نیمه هادی، جابجایی ویفر باید به طور ایمن انجام شود.

کارایی در گردش کار و ارگونومی

کاست های ویفر افقی به دلیل طراحی ارگونومیک خود آسان برای استفاده و کارآمد هستند که فرآیند بارگیری و تخلیه را ساده می کند. در تنظیمات اتاق تمیز، این سادگی استفاده، کارایی گردش کار را بهبود می‌بخشد، فرآیندهای کارآمدتر و زمان رسیدگی کمتر را ممکن می‌سازد. تولیدکنندگان نیمه هادی ها می توانند با ساده کردن این روش ها، کارایی را افزایش داده و استانداردهای تمیزی دقیق را رعایت کنند.