صفحه حامل اچینگ ICP

صفحه حامل اچینگ ICP

صفحه حامل ICP اچینگ Semicorex راه حل مناسبی برای پردازش ویفر و رسوب لایه نازک است. محصول ما مقاومت در برابر حرارت و خوردگی، حتی یکنواختی حرارتی، و الگوهای جریان گاز آرام را ارائه می دهد. با یک سطح تمیز و صاف، حامل ما برای جابجایی ویفرهای بکر عالی است.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

صفحه حامل ICP اچینگ Semicorex دوام و ماندگاری عالی را برای فرآیندهای جابجایی ویفر و رسوب لایه نازک فراهم می کند. محصول ما دارای مقاومت در برابر حرارت و خوردگی، حتی یکنواختی حرارتی، و الگوهای جریان گاز آرام است. با یک سطح تمیز و صاف، حامل ما حمل بهینه ویفرهای بکر را تضمین می کند. حذف دمای بالا، تمیز کردن شیمیایی، و همچنین یکنواختی حرارتی بالا.
امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد صفحه حامل اچینگ ICP ما بیشتر بدانید.


پارامترهای صفحه حامل اچینگ ICP

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC

ویژگی های SiC-CVD

ساختار کریستالی

فاز FCC β

تراکم

g/cm³

3.21

سختی

سختی ویکرز

2500

اندازه دانه

¼ دقیقه

2 تا 10

خلوص شیمیایی

%

99.99995

ظرفیت گرمایی

J·kg-1 ·K-1

640

دمای تصعید

2700

قدرت فلکسورال

MPa (RT 4 نقطه ای)

415

مدول یانگ

Gpa (خم 4pt، 1300)

430

انبساط حرارتی (C.T.E)

10-6K-1

4.5

رسانایی گرمایی

(W/mK)

300


ویژگی های ICP Etching Carrier Plate

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید

مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد

خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.

مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.

مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.

- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام

- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی

- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید





تگ های داغ: صفحه حامل حکاکی ICP، چین، تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه، سفارشی، فله، پیشرفته، بادوام

دسته بندی مرتبط

ارسال استعلام

لطفاً درخواست خود را در فرم زیر ارائه دهید. ما ظرف 24 ساعت به شما پاسخ خواهیم داد.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept