پلاسمای جفت شده القایی (ICP)

گیرنده پوشش داده شده با کاربید سیلیکون Semicorex برای پلاسمای جفت القایی (ICP) به طور خاص برای فرآیندهای کنترل ویفر در دمای بالا مانند اپیتاکسی و MOCVD طراحی شده است. با مقاومت اکسیداسیون پایدار و در دمای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد، حامل های ما پروفیل های حرارتی، الگوهای جریان گاز آرام را تضمین می کنند و از آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری می کنند.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

آیا به یک حامل ویفر نیاز دارید که بتواند محیط های شیمیایی با دمای بالا و خشن را تحمل کند؟ برای پلاسمای جفت القایی (ICP) به سراغ گیرنده پوشش داده شده با کاربید سیلیکون Semicorex بروید. حامل های ما دارای یک پوشش کریستالی SiC هستند که مقاومت بالایی در برابر حرارت، حتی یکنواختی حرارتی و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می دهد.
برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد گیرنده SiC برای پلاسمای جفت القایی (ICP) با ما تماس بگیرید.

پارامترهای گیرنده برای پلاسمای جفت القایی (ICP)

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز β FCC
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	میکرومتر	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت حرارتی	J kg-1 K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (4pt خم، 1300℃)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
هدایت حرارتی	(W/mK)	300