اگر به یک گیرنده گرافیتی با خاصیت هدایت حرارتی و توزیع گرما استثنایی نیاز دارید، به سیستم Epi بشکه ای گرمایش القایی Semicorex برای اپیتاکسی LPE نگاه نکنید. پوشش SiC با خلوص بالا، حفاظت عالی را در محیطهای با دمای بالا و خورنده فراهم میکند و آن را به گزینهای ایدهآل برای استفاده در کاربردهای تولید نیمهرسانا تبدیل میکند.
سیستم Epi بشکه ای گرمایش القایی Semicorex برای LPE Epitaxy انتخابی عالی برای کاربردهای تولید نیمه هادی است که به توزیع گرما و هدایت حرارتی استثنایی نیاز دارند. پوشش SiC با خلوص بالا و چگالی برتر آن، خواص حفاظتی و توزیع حرارت عالی را ارائه میکند و عملکرد قابل اعتماد و پایدار را حتی در چالشبرانگیزترین محیطها تضمین میکند.
در Semicorex، ما بر ارائه محصولات با کیفیت بالا و مقرون به صرفه به مشتریان خود تمرکز می کنیم. سیستم Epi بشکه گرمایش القایی ما برای LPE Epitaxy دارای مزیت قیمتی است و به بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا صادر می شود. هدف ما این است که با ارائه محصولات با کیفیت ثابت و خدمات استثنایی به مشتریان، شریک طولانی مدت شما باشیم.
پارامترهای سیستم Epi بشکه گرمایش القایی برای اپیتاکسی LPE
مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC |
||
ویژگی های SiC-CVD |
||
ساختار کریستالی |
فاز FCC β |
|
تراکم |
g/cm³ |
3.21 |
سختی |
سختی ویکرز |
2500 |
اندازه دانه |
¼ دقیقه |
2 تا 10 |
خلوص شیمیایی |
% |
99.99995 |
ظرفیت گرمایی |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
دمای تصعید |
℃ |
2700 |
قدرت فلکسورال |
MPa (RT 4 نقطه ای) |
415 |
مدول یانگ |
Gpa (خم 4pt، 1300) |
430 |
انبساط حرارتی (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
رسانایی گرمایی |
(W/mK) |
300 |
ویژگی های سیستم Epi بشکه گرمایش القایی برای LPE Epitaxy
- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده داشته باشند.
- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.
- کاهش اختلاف ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثری استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.
- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.
- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.