لوله راهنمای داخلی

لوله راهنمای داخلی Semicorex یک لوله با مهندسی دقیق استجزء کربن/کربن (C/C).طراحی شده برای کاربردهای پیشرفته میدان حرارتی با دمای بالا، به ویژه در رشد کریستال های سیلیکون با خلوص بالا. به عنوان یک عنصر حیاتی در کوره‌های رشد کریستال، این جزء نقش اصلی را در شکل‌دهی و تثبیت گرادیان حرارتی ایفا می‌کند و از تشکیل کریستال بهینه و کیفیت مواد سازگار اطمینان می‌دهد.

لوله راهنمای داخلی که از کامپوزیت کربن تقویت شده با فیبر کربن با چگالی بالا ساخته شده است، یکپارچگی ساختاری استثنایی و پایداری حرارتی را در شرایط سخت ارائه می دهد. با چگالی ≥1.35 گرم بر سانتی‌متر مکعب و استحکام خمشی ≥110 مگاپاسکال، استحکام مکانیکی را حتی در هنگام قرار گرفتن طولانی‌مدت در دمای بالا حفظ می‌کند. این خواص در تولید سیلیکون درجه نیمه هادی ضروری است، جایی که حتی نوسانات جزئی در شرایط حرارتی می تواند به طور قابل توجهی بر یکنواختی کریستال و نرخ عیب تأثیر بگذارد.

عملکرد اصلی: کنترل گرادیان دقیق

نقش اصلی لوله راهنمای داخلی C/C ایجاد یک میدان دمای گرادیان دقیق است. در طول فرآیند رشد کریستال سیلیکون، مستقیماً بالای مذاب قرار می گیرد تا:

جریان مستقیم گاز: جریان گاز آرگون خنثی را هدایت می کند و اطمینان حاصل می کند که بخارات اکسید سیلیکون (SiO) به طور موثر از سطح مذاب دور می شود و از آلودگی اکسیژن در کریستال جلوگیری می کند.

محافظ حرارتی: از کریستال در حال رشد در برابر تابش حرارت مستقیم از دیواره های بوته محافظت می کند و گرادیان دمای محوری تند لازم برای کشیدن کریستال با سرعت بالا و با کیفیت بالا را ایجاد می کند.

بهره وری انرژی: با تمرکز گرما در منطقه مذاب و عایق بندی اجزای کوره بالایی، مصرف برق کل را به میزان قابل توجهی کاهش می دهد.

مشخصات فنی و برتری مواد

لوله های راهنمای داخلی ما با استفاده از چگالی بالا تولید می شوندکامپوزیت های کربن/کربن، ارائه یک جایگزین برتر برای گرافیت سنتی. خواص مواد برای شرایط شدید کوره های خلاء نیمه هادی بهینه شده است:

چگالی: ≥ 1.35 گرم بر سانتی متر مکعب

قدرت خمشی: ≥ 110 مگاپاسکال

ضریب انبساط حرارتی (CTE): ≤ 1.0 × 10-6 /K

رسانایی حرارتی (دمای اتاق): ≤ 10 W/(m·K)

صنعت

همانطور که صنعت به سمت اندازه های بزرگتر ویفر (300 میلی متر و 450 میلی متر) حرکت می کند، تقاضا برای میدان حرارتی به طور تصاعدی افزایش می یابد. لوله های راهنمای داخلی ما با مارک های اصلی کوره CZ سازگار هستند و می توانند از نظر هندسه و پوشش سفارشی شوند.