سیستم راکتور Semicorex Liquid Phase Epitaxy (LPE) محصولی نوآورانه است که عملکرد حرارتی عالی، حتی مشخصات حرارتی و چسبندگی پوشش برتر را ارائه می دهد. خلوص بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی آن را به گزینه ای ایده آل برای استفاده در صنعت نیمه هادی تبدیل کرده است. گزینه های قابل تنظیم و مقرون به صرفه بودن آن را به یک محصول بسیار رقابتی در بازار تبدیل می کند.
سیستم راکتور اپیتاکسی فاز مایع (LPE) ما یک محصول بسیار قابل اعتماد و بادوام است که ارزش بسیار خوبی برای پول ارائه می دهد. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، حتی مشخصات حرارتی و جلوگیری از آلودگی، آن را برای رشد لایه همپایه با کیفیت بالا ایده آل می کند. نیازهای کم تعمیر و نگهداری و قابلیت سفارشی سازی آن را به محصولی بسیار رقابتی در بازار تبدیل کرده است.
در Semicorex، ما بر ارائه محصولات با کیفیت بالا و مقرون به صرفه به مشتریان خود تمرکز می کنیم. سیستم راکتور اپیتاکسی فاز مایع (LPE) ما دارای مزیت قیمتی است و به بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا صادر می شود. هدف ما این است که با ارائه محصولات با کیفیت ثابت و خدمات استثنایی به مشتریان، شریک طولانی مدت شما باشیم.
برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد سیستم راکتور اپیتاکسی فاز مایع (LPE) امروز با ما تماس بگیرید.
پارامترهای سیستم راکتور اپیتاکسی فاز مایع (LPE).
مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC |
||
ویژگی های SiC-CVD |
||
ساختار کریستالی |
فاز β FCC |
|
تراکم |
g/cm³ |
3.21 |
سختی |
سختی ویکرز |
2500 |
اندازه دانه |
میکرومتر |
2 تا 10 |
خلوص شیمیایی |
% |
99.99995 |
ظرفیت حرارتی |
J kg-1 K-1 |
640 |
دمای تصعید |
℃ |
2700 |
قدرت فلکسورال |
MPa (RT 4 نقطه ای) |
415 |
مدول یانگ |
Gpa (خم 4pt، 1300℃) |
430 |
انبساط حرارتی (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
هدایت حرارتی |
(W/mK) |
300 |
ویژگی های سیستم راکتور اپیتاکسی فاز مایع (LPE).
- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده ایفا کنند.
- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.
- کاهش تفاوت در ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثر استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.
- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.
- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.