گیرنده ویفر سیلیکونی تک کریستالی

Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor راه حل ایده آلی برای فرآیندهای اپیتاکسی گرافیت و پردازش ویفر است. محصول فوق خالص ما حداقل آلودگی و عملکرد استثنایی با عمر طولانی را تضمین می کند و آن را به یک انتخاب محبوب در بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا تبدیل می کند. به عنوان یک ارائه دهنده پیشرو در حامل های ویفر نیمه هادی در چین، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

گیرنده اپیتاکسیال سیلیکونی مونوکریستالی ما یک محصول گرافیتی است که با سی سی سی با خلوص بالا پوشش داده شده است که مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالایی دارد. حامل پوشش دار کاربید سیلیکون CVD در فرآیندهایی استفاده می شود که لایه اپیتاکسیال را روی ویفرهای نیمه هادی تشکیل می دهند. دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع حرارت عالی است که برای فرآیندهای ساخت نیمه هادی کارآمد و دقیق ضروری است.
یکی از ویژگی های کلیدی ویفر سیلیکونی مونوکریستال ما چگالی عالی آن است. هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در محیط های کاری با دمای بالا و خورنده ایفا کنند. گیرنده پوشش داده شده با کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطح بسیار بالایی دارد که برای حفظ تولید ویفر با کیفیت بالا ضروری است.
یکی دیگر از ویژگی های مهم محصول ما توانایی آن در کاهش اختلاف ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون است. این به طور موثر استحکام پیوند را بهبود می بخشد و از ترک خوردگی و لایه لایه شدن جلوگیری می کند. علاوه بر این، هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند، که تضمین می کند که گرما به طور مساوی در طول فرآیند تولید توزیع می شود.
ویفر سیلیکونی مونوکریستالی ما همچنین در برابر اکسیداسیون و خوردگی در دمای بالا مقاوم است و آن را به محصولی قابل اعتماد و بادوام تبدیل می کند. نقطه ذوب بالای آن تضمین می کند که می تواند در برابر محیط دمای بالا مورد نیاز برای تولید نیمه هادی کارآمد مقاومت کند.
در نتیجه، Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor یک راه حل فوق العاده خالص، بادوام و قابل اعتماد برای فرآیندهای اپیتاکسی گرافیت و پردازش ویفر است. چگالی عالی، صافی سطح و هدایت حرارتی آن، آن را برای استفاده در محیط های با دمای بالا و خورنده ایده آل می کند. ما به ارائه محصولات با کیفیت بالا با قیمت های رقابتی مفتخریم و مشتاقانه منتظر همکاری با شما برای تمام نیازهای حامل ویفر نیمه هادی شما هستیم.

پارامترهای گیرنده ویفر سیلیکونی تک کریستالی

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300

ویژگی های ویفر سیلیکونی مونوکریستالی

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید