بخاری های سرامیکی

در فرآیند جلو (FEOL) از تولید نیمه هادی ،ویفرباید تحت درمان های مختلف فرآیند قرار گیرد ، به ویژه ویفر باید در دمای معینی گرم شود و الزامات دقیق وجود دارد ، زیرا یکنواختی دما تأثیر بسیار مهمی بر عملکرد محصول دارد. در عین حال ، تجهیزات نیمه هادی باید در حضور گازهای خلاء ، پلاسما و شیمیایی کار کنند که نیاز به استفاده از بخاری های سرامیکی دارد.بخاری های سرامیکیاجزای مهم تجهیزات رسوب فیلم نازک نیمه هادی هستند. آنها در محفظه فرآیند مورد استفاده قرار می گیرند و مستقیماً با ویفر تماس می گیرند و ویفر را قادر می سازد تا دمای فرآیند پایدار و یکنواخت را بدست آورد و با دقت بالایی در سطح ویفر واکنش نشان دهد تا فیلم های نازک تولید کند.

از آنجا که تجهیزات رسوب فیلم نازک مورد استفاده توسط بخاری های سرامیکی شامل درجه حرارت بالا است ، به طور کلی از مواد سرامیکی مبتنی بر نیترید آلومینیوم (ALN) استفاده می شود. از آنجا که نیترید آلومینیوم دارای عایق الکتریکی و هدایت حرارتی عالی است. علاوه بر این ، ضریب انبساط حرارتی آن نزدیک به سیلیکون است و از مقاومت پلاسما بسیار خوبی برخوردار است ، برای استفاده به عنوان یک جزء تجهیزات نیمه هادی بسیار مناسب است.

چاک های الکترواستاتیک (ESC) عمدتاً در تجهیزات اچینگ ، عمدتاً اکسید آلومینیوم (AL2O3) استفاده می شوند. از آنجا که خود چاک الکترواستاتیک نیز حاوی یک بخاری است و به عنوان نمونه از آن استفاده می کند ، لازم است ویفر را در یک دمای خاص در محدوده 100 ℃ 70 ℃ برای حفظ یک ویژگی خاص اچ کنترل کنید. بنابراین ، ویفر برای کنترل دقیق دمای ویفر باید توسط چاک الکترواستاتیک گرم یا از بین برود. علاوه بر این ، برای اطمینان از یکنواختی سطح ویفر ، چاک الکترواستاتیک اغلب برای کنترل دمای هر منطقه کنترل دما به طور جداگانه نیاز به افزایش منطقه کنترل دما دارد تا عملکرد فرایند را بهبود بخشد. البته با توسعه فناوری ، تمایز بین بخاری های سرامیکی سنتی و چاک های الکترواستاتیک شروع به تار شدن می کند. برخی از بخاری های سرامیکی عملکردهای دوگانه گرمایش با دمای بالا و جذب الکترواستاتیک دارند.

بخاری سرامیک شامل یک پایگاه سرامیکی است که دارای ویفر و یک بدنه پشتیبانی استوانه ای است که از پشت آن پشتیبانی می کند. در داخل یا روی سطح پایه سرامیک ، علاوه بر عنصر مقاومت (لایه گرمایش) برای گرمایش ، یک الکترود فرکانس رادیویی (لایه فرکانس رادیویی) نیز وجود دارد. برای دستیابی به گرمایش و سرمایش سریع ، ضخامت پایه سرامیک باید نازک باشد ، اما خیلی نازک نیز سفتی را کاهش می دهد. بدنه پشتیبانی بخاری به طور کلی از ماده ای با ضریب انبساط حرارتی شبیه به پایه ساخته می شود ، بنابراین بدن پشتیبانی اغلب از نیترید آلومینیوم نیز ساخته می شود. بخاری ساختار منحصر به فردی از مفصل شافت (شافت) را در پایین اتخاذ می کند ، که می تواند پایانه ها و سیم ها را از اثرات گازهای شیمیایی پلاسما و خورنده محافظت کند. یک لوله ورودی گاز و لوله خروجی گرما در بدنه پشتیبانی ارائه می شود تا از دمای یکنواخت بخاری اطمینان حاصل شود. پایه و بدنه پشتیبانی با یک لایه پیوند شیمیایی پیوند می خورند.

Semicorex با کیفیت بالا ارائه می دهدبخاری های سرامیکیبشر اگر سؤالی دارید یا به جزئیات بیشتری احتیاج دارید ، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن با شماره +86-13567891907 تماس بگیرید

ایمیل: sales@semicorex.com