سر دوش نیمه هادی

درصفحه توزیع گاز، که اغلب به عنوان "سر دوش" گفته می شود ، ممکن است شبیه یک دوش معمولی باشد ، اما قیمت آن می تواند به صدها هزار نفر برسد ، به طور قابل توجهی بالاتر از یک حمام حمام معمولی.

سطح صفحه توزیع گاز دارای صدها یا حتی هزاران سوراخ کوچک و دقیقاً مرتب شده است که شبیه یک شبکه عصبی ریز بافته شده است. این طرح امکان کنترل دقیق جریان گاز و زاویه تزریق را فراهم می کند ، و اطمینان می دهد که هر قسمت از منطقه پردازش ویفر به طور مساوی در گاز فرآیند "غسل" می شود. این نه تنها باعث افزایش کارایی تولید می شود بلکه کیفیت محصول را بهبود می بخشد.

صفحه توزیع گاز برای فرآیندهای کلیدی مانند تمیز کردن ، اچ و رسوب یکپارچه است. این امر به طور مستقیم بر صحت فرآیندهای نیمه هادی و کیفیت محصولات نهایی تأثیر می گذارد و آن را به یک مؤلفه مهم در برنامه های مختلف توزیع گاز تبدیل می کند.

در طی فرآیند واکنش ویفر ، سطحسر دوشمتراکم با ریزگردها (دیافراگم 0.2-6 میلی متر) پوشانده شده است. از طریق ساختار کانال دقیقاً طراحی شده و مسیر گاز ، گاز فرآیند ویژه باید از هزاران سوراخ کوچک در صفحه گاز یکنواخت عبور کند و سپس به طور مساوی روی سطح ویفر قرار گیرد. لایه فیلم در مناطق مختلف ویفر باید از یکنواختی و قوام بالا اطمینان حاصل کند. بنابراین ، علاوه بر الزامات بسیار زیاد برای مقاومت در برابر پاکیزگی و خوردگی ، صفحه توزیع گاز نیازهای سختی را بر قوام دیافراگم سوراخ های کوچک در صفحه توزیع گاز و آستانه های موجود در دیواره داخلی سوراخ های کوچک دارد. اگر تحمل اندازه دیافراگم و انحراف استاندارد قوام بسیار بزرگ باشد یا بر روی هر دیواره داخلی وجود داشته باشد ، ضخامت لایه فیلم سپرده شده متفاوت خواهد بود ، که به طور مستقیم بر عملکرد فرآیند تجهیزات تأثیر می گذارد.

ماده صفحه توزیع گاز گاهی اوقات مواد شکننده (مانند سیلیکون کریستال تک ، شیشه کوارتز ، سرامیک) است که به راحتی تحت عمل نیروی خارجی شکستن است. همچنین در 50 برابر قطر میکروپور یک سوراخ فوق العاده عمیق است و وضعیت برش به طور مستقیم قابل مشاهده نیست. علاوه بر این ، انتقال گرمای برش آسان نیست و برداشتن تراشه دشوار است و بیت مته به دلیل انسداد تراشه به راحتی شکسته می شود. بنابراین ، پردازش و آماده سازی آن بسیار دشوار است.

علاوه بر این ، در فرآیندهای کمک به پلاسما (مانند PECVD و اچینگ خشک) ، سر دوش ، به عنوان بخشی از الکترود ، همچنین نیاز به ایجاد یک میدان الکتریکی یکنواخت از طریق منبع تغذیه RF برای ترویج توزیع یکنواخت پلاسما دارد ، در نتیجه باعث بهبود یکنواختی اچ یا عبادت می شود.

از آنجا که گازهای مورد استفاده در فرآیند تولید نیمه هادی ممکن است درجه حرارت بالا ، فشار بالا یا خورنده باشد ، حمام معمولاً از مواد مقاوم در برابر خوردگی ساخته می شود. در تولید واقعی ، به دلیل سناریوهای مختلف استفاده و دقت مورد نیاز واقعی ، صفحه توزیع گاز را می توان با توجه به ترکیب مواد آن به دو دسته زیر تقسیم کرد:

(1) صفحه توزیع گاز فلزی

مواد صفحات توزیع گاز فلزی شامل آلیاژ آلومینیوم ، فولاد ضد زنگ و فلز نیکل است که از جمله آنها بیشترین استفاده از مواد صفحه توزیع گاز فلزی ، آلیاژ آلومینیوم است ، زیرا دارای هدایت حرارتی خوبی و مقاومت در برابر خوردگی قوی است. به طور گسترده ای در دسترس است و پردازش آن آسان است.

(2) صفحه توزیع گاز غیر فلزی

مواد صفحات توزیع گاز غیر فلزی شامل سیلیکون کریستالی تک ، شیشه کوارتز و مواد سرامیکی است. در میان آنها ، مواد سرامیکی متداول عبارتند از CVD-SIC ، سرامیک آلومینا ، سرامیک نیترید سیلیکون و غیره.

Semicorex با کیفیت بالا ارائه می دهدسر دوش CVDدر صنعت نیمه هادی. اگر سؤالی دارید یا به جزئیات بیشتری احتیاج دارید ، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن با شماره +86-13567891907 تماس بگیرید

ایمیل: sales@semicorex.com