اجزای سرامیکی دقیق در نیمه هادی

سرامیک دقیققطعات مؤلفه های اصلی تجهیزات اصلی در فرآیندهای کلیدی تولید نیمه هادی هستند ، مانند فوتولیتوگرافی ، اچینگ ، رسوب فیلم نازک ، کاشت یونی ، CMP و غیره ، مانند یاتاقان ها ، ریل های راهنما ، آسترها ، چاک های الکترواستاتیک ، بازوهای دست ساز و غیره. به ویژه در داخل حفره تجهیزات ، آنها عملکردهای پشتیبانی پشتیبانی ، حمایت و جریان را بازی می کنند.

در دستگاه های لیتوگرافی با رده بالا ، برای دستیابی به دقت فرآیند بالا ، لازم است از اجزای سرامیکی با پیچیدگی عملکردی خوب ، پایداری ساختاری ، پایداری حرارتی و دقت ابعادی مانند استفاده کنید.چاک الکترواستاتیک, با خلاء کردن، بلوک ، صفحه خنک کننده آب اسکلت مغناطیسی ، آینه ، راه آهن راهنما ، میز کار ، میز ماسک و غیره.

1. چاک الکترواستاتیک

چاک الکترواستاتیک یک ابزار بسته بندی و انتقال ویفر سیلیکون در ساخت مؤلفه نیمه هادی است. این ماده به طور گسترده در فرآیندهای نیمه هادی پلاسما و خلاء مانند اچ ، رسوب بخار شیمیایی و کاشت یون استفاده می شود. مواد سرامیکی اصلی سرامیک آلومینا و سرامیک نیترید سیلیکون است. مشکلات تولیدی عبارتند از: طراحی ساختاری پیچیده ، انتخاب مواد اولیه و پخت و پز ، کنترل دما و فناوری پردازش با دقت بالا.

2. پلت فرم تلفن همراه

طراحی سیستم مادی از سکوی موبایل دستگاه لیتوگرافی کلید با دقت بالا و سرعت زیاد دستگاه لیتوگرافی است. به منظور مقاومت در برابر تغییر شکل سکوی موبایل به دلیل حرکت با سرعت بالا در طی فرآیند اسکن ، مواد سکو باید شامل مواد انبساط حرارتی کم با سفتی خاص و خاص باشد ، یعنی چنین مواد باید دارای مدول بالا و چگالی کم باشند. علاوه بر این ، این ماده همچنین به سفتی خاص و خاص نیاز دارد ، که کل سکوی را قادر می سازد تا ضمن تحمل شتاب و سرعت بالاتر ، همان سطح اعوجاج را حفظ کنند. با تعویض ماسک ها با سرعت بالاتر و بدون افزایش اعوجاج ، توان افزایش می یابد و با اطمینان از دقت بالا ، راندمان کار بهبود می یابد.

به منظور انتقال نمودار مدار تراشه از ماسک به ویفر برای دستیابی به عملکرد تراشه از پیش تعیین شده ، فرآیند اچینگ بخش مهمی است. اجزای ساخته شده از مواد سرامیکی بر روی تجهیزات اچینگ عمدتاً شامل محفظه ، آینه پنجره ، صفحه پراکندگی گاز ، نازل ، حلقه عایق ، صفحه پوشش ، حلقه تمرکز و چاک الکترواستاتیک است.

3 اتاق

از آنجا که حداقل اندازه ویژگی دستگاه های نیمه هادی همچنان در حال کوچک شدن است ، الزامات مربوط به نقص ویفر دقیق تر شده است. به منظور جلوگیری از آلودگی توسط ناخالصی های فلزی و ذرات ، الزامات دقیق تری برای مواد حفره های تجهیزات نیمه هادی و اجزای موجود در حفره ها مطرح شده است. در حال حاضر ، مواد سرامیکی به مواد اصلی حفره های دستگاه اچینگ تبدیل شده اند.

الزامات مواد (1) خلوص بالا و محتوای ناخالصی فلز کم. (2) خواص شیمیایی پایدار اجزای اصلی ، به ویژه میزان واکنش شیمیایی کم با گازهای خورنده هالوژن. (3) چگالی بالا و چند منافذ باز. (4) دانه های کوچک و محتوای فاز مرزی دانه کم. (5) خصوصیات مکانیکی عالی و تولید و پردازش آسان. (6) برخی از مؤلفه ها ممکن است نیازهای عملکرد دیگری مانند خصوصیات دی الکتریک خوب ، هدایت الکتریکی یا هدایت حرارتی داشته باشند.

4. سر دوش

سطح آن به طور متراکم با صدها یا هزاران کوچک از طریق سوراخ ها توزیع می شود ، مانند یک شبکه عصبی دقیقاً بافته شده ، که می تواند به طور دقیق جریان گاز و زاویه تزریق را کنترل کند تا اطمینان حاصل شود که هر اینچ از پردازش ویفر به طور مساوی در گاز فرآیند "غسل" می شود و بهره وری تولید و کیفیت محصول را بهبود می بخشد.

مشکلات فنی علاوه بر نیازهای بسیار زیاد برای پاکیزگی و مقاومت در برابر خوردگی ، صفحه توزیع گاز دارای نیازهای دقیق بر قوام دیافراگم سوراخ های کوچک در صفحه توزیع گاز و آستانه های موجود در دیواره داخلی سوراخ های کوچک است. اگر تحمل اندازه دیافراگم و انحراف استاندارد قوام بسیار بزرگ باشد یا بر روی هر دیواره داخلی وجود داشته باشد ، ضخامت لایه فیلم سپرده شده متفاوت خواهد بود ، که مستقیماً بر عملکرد فرایند تجهیزات تأثیر می گذارد.

5. حلقه تمرکز

عملکرد حلقه تمرکز فراهم کردن پلاسما متعادل است که به یک هدایت مشابه با ویفر سیلیکون نیاز دارد. در گذشته ، مواد مورد استفاده عمدتا سیلیکون رسانا بود ، اما پلاسما حاوی فلوئور با سیلیکون واکنش نشان می دهد تا فلوراید بی ثبات ، که عمر خدمات آن را بسیار کوتاه می کند ، و در نتیجه جایگزینی مکرر اجزای و کاهش راندمان تولید را کاهش می دهد. SIC دارای هدایت مشابهی با SI تک کریستالی است و مقاومت بهتری در برابر اچ پلاسما دارد ، بنابراین می توان از آن به عنوان ماده ای برای تمرکز حلقه ها استفاده کرد.

Semicorex با کیفیت بالا ارائه می دهدقطعات سرامیکیدر صنعت نیمه هادی. اگر سؤالی دارید یا به جزئیات بیشتری احتیاج دارید ، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن با شماره +86-13567891907 تماس بگیرید

ایمیل: sales@semicorex.com