قایق ویفر کاربید سیلیکون

در پشت هر فرآیند درجه حرارت بالا در تولید ویفر ، یک بازیکن ساکت و در عین حال مهم قرار دارد: قایق ویفر. به عنوان حامل اصلی که به طور مستقیم با ویفر سیلیکون در طول پردازش ویفر تماس می گیرد ، مواد ، پایداری و پاکیزگی آن به طور مستقیم با عملکرد تراشه نهایی و پایداری فرآیند مرتبط است. در میان مواد حامل مختلف ،کاربید سیلیکون (SIC)قایق ها به تدریج جایگزین راه حل های سنتی کوارتز می شوند و به راه حل ترجیحی برای فرآیندهای پیشرفته و تجهیزات سطح بالا تبدیل می شوند.

چرا قایق های ویفر SIC؟

با پیشرفت گره های فرآیند زیر 7 نانومتر و گسترش ویندوزهای فرآیند با درجه حرارت بالا ، قایق های ویفر کوارتز سنتی از نظر پایداری حرارتی ، کنترل ذرات و مدیریت طول عمر به طور فزاینده ای تلاش می کنند.

با این حال ، قایق های ویفر کاربید سیلیکون به دلیل مزایای زیر به تدریج برجسته می شوند:

1.stable در دماهای بالا:

آنها دمای عملیاتی طولانی مدت از 1350-1600 درجه سانتیگراد را ارائه می دهند ، به راحتی فرآیندهای اصلی مانند CVD ، انتشار و بازپخت را اداره می کنند. حتی قرار گرفتن در معرض مختصر در دمای 1800 درجه سانتیگراد ، هیچ نرم کننده یا تغییر شکل را نشان نمی دهد و باعث می شود آنها برای تجهیزات سطح بالاتر مانند کوره های کاربید سیلیکون کریستالی تک مناسب باشند.

2. سطح انبساط و ثبات شوک حرارتی بالا:

با ضریب کم انبساط حرارتی ، آنها می توانند در برابر افزایش سریع دما و کاهش مقاومت کنند و به حداقل می رسد ترک خوردگی ساختاری ناشی از استرس حرارتی. آنها مورفولوژی و عملکرد عالی را در جو با دمای بالا ، جوهای پیچیده (مانند هیدروژن ، نیتروژن ، آمونیاک و فلورایدها) حفظ می کنند.

3. سطح سطح و آلودگی بسیار کم:

خلوص مواد بالا با حداقل ناخالصی های فلزی. زبری سطح پایین ، جلوگیری از آلودگی ثانویه ویفرهای سیلیکون. کنترل زبری سطح عالی ، با RA زیر 0.1μm ، ریختن ذرات را سرکوب می کند و نیازهای تمیز فرآیندهای پیشرفته را برآورده می کند.

4. قالب یک قطعه، سازه های قایق ویفر با دقت و دقیق می توانند مستقیماً از طریق MODMEND شکل بگیرندچاپ سه بعدی، از بین بردن نیاز به قالب ها ، بهبود قابل توجهی راندمان سفارشی سازی. همراه با ماشینکاری پنج محور و فناوری برش سیم ، دندانهای قایق بدون آبرسان هستند و از خراش های روی ویفرها جلوگیری می کنند و از انجام خودکار خودکار اطمینان می دهند.

5. قدرت بالا و عمر طولانی: 

یک قایق منفرد دارای استحکام بار بالایی است و می تواند همزمان ده ها تا صدها ویفرهای 12 اینچی را پشتیبانی کند. در مقایسه با قایق های سنتی کوارتز ، میانگین طول عمر قایق 5-10 برابر بیشتر است و باعث کاهش فرکانس تغییر تجهیزات و هزینه کل مالکیت می شود.

سناریوی کاربرد

سازگاری گسترده ازقایق های ویفر کاربید سیلیکونکاربرد خود را فراتر از میدان نیمه هادی به انواع سناریوهای فرآیند درجه حرارت بالا ، از جمله مواد انرژی جدید ، تولید LED و تحقیقات انرژی هسته ای گسترش می دهد.

صنعت نیمه هادی

این مناسب برای فرآیندهای کلیدی مانند اکسیداسیون ، انتشار ، رسوب CVD و کاشت یون مناسب است و آن را به یک حامل با درجه حرارت بالا ضروری برای خطوط فرآیند زیر 7 نانومتر تبدیل می کند.

صنعت فتوولتائیک

در فن آوری های باتری در حال ظهور مانند TOPCON و HJT ، از قایق های ویفر در فرآیندهای کوره با درجه حرارت بالا مانند LPCVD و بازپخت استفاده می شود و به بهبود بهره وری انرژی و نرخ تبدیل کمک می کند.

نیمه هادی های نسل سوم

برای فرآیندهای رشد اپیتاکسیال GAN و SIC در LED ها ، آنها از بسترهای کاربید یاقوت کبود یا سیلیکون پشتیبانی می کنند. آنها در برابر گازهای خورنده مانند NH₃ و HCL مقاومت می کنند و از تولید دستگاه های با فرکانس بالا پشتیبانی می کنند.

پلت فرم جدید انرژی و تحقیقات انرژی جدید

از واکنش پختگی مواد کاتد باتری لیتیوم و عملیات حرارتی مواد صنعت هسته ای ، ترکیب مقاومت در برابر حرارت ، مقاومت در برابر خوردگی و پاکیزگی پشتیبانی می کند.

Semicorex با خلوص بالایی ارائه می دهدقایق های ویفر SIC سفارشیبشر اگر سؤالی دارید یا به جزئیات بیشتری احتیاج دارید ، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن با شماره +86-13567891907 تماس بگیرید

ایمیل: sales@semicorex.com