فرآیند انتشار چیست

دوپینگ شامل معرفی دوز ناخالصی ها به مواد نیمه هادی برای تغییر خصوصیات الکتریکی آنها است. انتشار و کاشت یونی دو روش دوپینگ است. دوپینگ ناخالصی اولیه در درجه اول از طریق انتشار دمای بالا انجام شد.

انتشار اتم های ناخالصی بر روی سطح aویفراز منبع بخار یا اکسید دوپ شده. غلظت ناخالصی به صورت یکنواخت از سطح به فله کاهش می یابد و توزیع ناخالصی در درجه اول توسط دمای و زمان انتشار تعیین می شود. کاشت یون شامل تزریق یون های دوپانت به نیمه هادی با استفاده از پرتوی یون است. غلظت ناخالصی دارای توزیع اوج در نیمه هادی است و توزیع ناخالصی با دوز یونی و انرژی کاشت تعیین می شود.

در طی فرآیند انتشار ، ویفر به طور معمول در یک لوله کوره با درجه حرارت بالا کوارتز کاملاً کنترل شده و یک مخلوط گاز حاوی دوپانت مورد نظر قرار می گیرد. برای فرآیندهای انتشار Si ، بور رایج ترین دوپت از نوع p است ، در حالی که فسفر متداول ترین دوپانت نوع n است. (برای کاشت یون Sic ، دوپانت نوع P به طور معمول بور یا آلومینیوم است ، و دوپانت نوع N به طور معمول نیتروژن است.)

انتشار در نیمه هادی ها را می توان به عنوان حرکت اتمی اتم های دوپانت در شبکه بستر از طریق جای خالی یا اتم های بینابینی مشاهده کرد.

در دماهای بالا ، اتم های مشبک در نزدیکی موقعیت های تعادل خود لرزش می کنند. اتم ها در سایت های مشبک احتمال خاصی برای به دست آوردن انرژی کافی برای حرکت از موقعیت تعادل خود دارند و اتم های بینابینی ایجاد می کنند. این باعث ایجاد جای خالی در سایت اصلی می شود. هنگامی که یک اتم ناخالصی در نزدیکی یک سایت خالی را اشغال می کند ، به این انتشار جای خالی گفته می شود. هنگامی که یک اتم بینابینی از یک سایت به سایت دیگر حرکت می کند ، آن را انتشار بینابینی می نامند. اتم هایی با شعاع اتمی کوچکتر به طور کلی انتشار بینابینی را تجربه می کنند. نوع دیگری از انتشار هنگامی اتفاق می افتد که اتم های بینابینی اتم ها را از سایت های مشبک مجاور جابجا می کنند و یک اتم ناخالصی جایگزین را به محل بینابینی سوق می دهند. این اتم سپس این فرآیند را تکرار می کند ، به طور قابل توجهی سرعت انتشار را تسریع می کند. به این انتشار فشار پر فشار گفته می شود.

مکانیسم های انتشار اولیه P و B در Si انتشار جای خالی و انتشار فشار فشار است.

Semicorex با خلوص بالا سفارشی ارائه می دهداجزاءدر فرآیند انتشار. اگر سؤالی دارید یا به جزئیات بیشتری احتیاج دارید ، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن با شماره +86-13567891907 تماس بگیرید

ایمیل: sales@semicorex.com