رسوب شیمیایی بخار چیست؟

رسوب بخار شیمیایی (CVD) یک فناوری پوششی است که از مواد گازی یا بخاری برای انجام واکنش‌های شیمیایی در فاز گاز یا در سطح مشترک گاز-جامد برای تولید مواد جامد که روی سطح بستر رسوب می‌کنند، استفاده می‌کند و در نتیجه لایه‌های جامد با کارایی بالا را تشکیل می‌دهد. هسته CVD انتقال پیش سازهای گازی به داخل یک محفظه واکنش است، جایی که واکنش های شیمیایی محصولات جامد تولید می کند که روی بستر رسوب می کنند و گازهای محصول فرعی از سیستم تخلیه می شوند.

فرآیند واکنش CVD 

1. پیش سازهای واکنش توسط یک گاز حامل به محفظه واکنش تحویل داده می شوند. قبل از رسیدن به زیرلایه، گازهای واکنش ممکن است تحت واکنش های فاز گازی همگن در جریان اصلی گاز قرار گیرند و برخی محصولات میانی و خوشه ها را ایجاد کنند.

2. واکنش دهنده ها و محصولات میانی از طریق لایه مرزی پخش می شوند و از ناحیه جریان اصلی هوا به سطح زیرلایه منتقل می شوند. مولکول های واکنش دهنده بر روی سطح بستر با دمای بالا جذب می شوند و در طول سطح پخش می شوند.

3. مولکول های جذب شده تحت واکنش های سطحی ناهمگن در سطح بستر، مانند تجزیه، کاهش، اکسیداسیون و غیره قرار می گیرند تا محصولات جامد (اتم های فیلم) و محصولات فرعی گازی تولید کنند.

تکنیک‌های متداول CVD شامل CVD حرارتی، CVD افزایش‌یافته با پلاسما (PECVD)، لیزر CVD (LCVD)، CVD فلزی-آلی (MOCVD)، CVD کم فشار (LPCVD) و CVD پلاسما با چگالی بالا (HDP-CVD)، که می‌توانند بر اساس مزیت‌ها و تقاضاهای خاص خود انتخاب شوند.

5. محصولات فرعی گازی تولید شده توسط واکنش از سطح خارج می شوند، به جریان اصلی گاز باز می گردند و در نهایت توسط سیستم خلاء از محفظه واکنش تخلیه می شوند.

تکنیک‌های متداول CVD شامل CVD حرارتی، CVD افزایش‌یافته با پلاسما (PECVD)، لیزر CVD (LCVD)، CVD فلزی-آلی (MOCVD)، CVD کم فشار (LPCVD) و CVD پلاسما با چگالی بالا (HDP-CVD)، که می‌توانند بر اساس مزیت‌ها و تقاضاهای خاص خود انتخاب شوند.

فناوری‌های CVD می‌توانند با سرامیک‌ها، شیشه‌ها و بسترهای آلیاژی سازگار باشند. و مخصوصاً برای رسوب بر روی بسترهای پیچیده مناسب است و می تواند به طور موثر مناطق چالش برانگیز مانند نواحی مهر و موم شده، سوراخ های کور و سطوح داخلی را پوشش دهد. CVD دارای نرخ رسوب سریع است در حالی که امکان کنترل دقیق ضخامت فیلم را فراهم می کند. فیلم های تولید شده از طریق CVD دارای کیفیت عالی هستند و دارای یکنواختی عالی، خلوص بالا و چسبندگی قوی به بستر هستند. آنها همچنین مقاومت قوی در برابر دماهای بالا و پایین و همچنین تحمل نوسانات شدید دما را نشان می دهند.

چندینسی وی دی سی سیمحصولات ارائه شده توسط Semicorex. اگر شما علاقه مند هستید، لطفا با ما تماس بگیرید.