فرآیند اپیتاکسی سیلیکون چیست؟

اپیتاکسی سیلیکون یک فرآیند ساخت اولیه برای مدارهای مجتمع است. این اجازه می دهد تا دستگاه های آی سی بر روی لایه های همپایی با دوپ کم با لایه های مدفون شده به شدت دوپ شده ساخته شوند، در حالی که اتصالات PN رشد یافته را نیز تشکیل می دهند، بنابراین مشکل جداسازی IC ها را حل می کند.ویفر اپیتاکسیال سیلیکونیهمچنین یک ماده اولیه برای ساخت دستگاه های نیمه هادی گسسته هستند زیرا می توانند ولتاژ شکست بالای اتصالات PN را تضمین کنند و در عین حال افت ولتاژ رو به جلو دستگاه ها را کاهش دهند. استفاده از ویفرهای اپیتاکسیال سیلیکونی برای ساخت مدارهای CMOS می تواند جلوه های لچ آپ را بگیرد، بنابراین، ویفرهای همپای سیلیکونی به طور فزاینده ای در دستگاه های CMOS استفاده می شوند.

اصل اپیتاکسی سیلیکون

اپیتاکسی سیلیکونی معمولاً از کوره اپیتاکسی فاز بخار استفاده می کند. اصل آن این است که تجزیه منبع سیلیکونی (مانند سیلان، دی کلروسیلان، تری کلروسیلان و تتراکلرید سیلیکون با هیدروژن واکنش می دهد و سیلیکون تولید می کند. در طول رشد، گازهای دوپینگ مانند PH3 و B2H6 را می توان به طور همزمان معرفی کرد. دوپینگ به صورت یک لایه فشار محوری دقیقاً با یک غلظت محوری گاز کنترل می شود. مقاومت

مزایای اپیتاکسی سیلیکون برای دستگاه ها

1. کاهش مقاومت سری، ساده کردن تکنیک های جداسازی و کاهش اثر یکسو کننده کنترل شده سیلیکونی در CMOS.

2. لایه های همپایه با مقاومت بالا (کم) می توانند به صورت همپایی روی بسترهای با مقاومت کم (بالا) رشد کنند.

3. یک لایه اپیتاکسیال نوع N(P) را می توان روی یک بستر نوع P(N) رشد داد تا مستقیماً یک اتصال PN را تشکیل دهد، و مشکل جبرانی را که هنگام ساختن یک اتصال PN روی یک بستر تک کریستالی با استفاده از روش انتشار رخ می دهد، از بین می برد.

4. همراه با فناوری ماسکینگ، رشد اپیتاکسیال انتخابی را می توان در مناطق تعیین شده انجام داد و شرایطی را برای ساخت مدارهای مجتمع و دستگاه هایی با ساختارهای خاص ایجاد کرد.

5. در طول فرآیند رشد اپیتاکسیال، نوع و غلظت دوپینگ را می توان در صورت نیاز تنظیم کرد. تغییر در غلظت می تواند ناگهانی یا تدریجی باشد.

6. نوع و غلظت مواد ناخالص را می توان در صورت نیاز در طول فرآیند رشد اپیتاکسی تنظیم کرد. تغییر غلظت می تواند ناگهانی یا تدریجی باشد.

Semicorex فراهم می کند سی همپایی جاجزاءمورد نیاز برای برای تجهیزات نیمه هادی اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن تماس 86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com