پارامترهای اصلی در اچینگ خشک

حکاکی خشک یک فناوری اصلی در فرآیندهای ساخت سیستم های میکرو الکترومکانیکی است. عملکرد فرآیند حکاکی خشک تأثیر مستقیمی بر دقت ساختاری و عملکرد عملیاتی دستگاه های نیمه هادی دارد. برای کنترل دقیق فرآیند اچینگ، باید به پارامترهای ارزیابی اصلی زیر توجه زیادی کرد.

1. Etch Rete

نرخ اچ به ضخامت ماده اچ شده در واحد زمان (واحدها: nm/min یا μm/min) اشاره دارد. مقدار آن مستقیماً بر راندمان اچ تأثیر می گذارد و نرخ اچ پایین چرخه تولید را طولانی می کند. لازم به ذکر است که پارامترهای تجهیزات، خواص مواد و منطقه اچینگ همگی بر میزان اچ تاثیر می گذارند.

2-انتخابی بودن

انتخاب پذیری بستر و انتخاب پذیری ماسک دو نوع انتخاب پذیری اچینگ خشک هستند. در حالت ایده آل، گاز اچینگ با گزینش پذیری ماسک بالا و گزینش پذیری پایین بستر باید انتخاب شود، اما در واقعیت، انتخاب باید با در نظر گرفتن خواص مواد بهینه شود.

3-یکنواختی

یکنواختی درون ویفر، ثبات سرعت در مکان های مختلف در یک ویفر است که منجر به انحراف ابعادی در دستگاه های نیمه هادی می شود. در حالی که یکنواختی ویفر به ویفر به ثبات نرخ بین ویفرهای مختلف اشاره دارد که می تواند باعث نوسانات دقت دسته به دسته شود.

4. بعد بحرانی

بعد بحرانی به پارامترهای هندسی ریزساختارها مانند عرض خط، عرض ترانشه و قطر سوراخ اشاره دارد.

5. نسبت تصویر

نسبت تصویر، همانطور که از نام آن پیداست، نسبت عمق اچ به عرض دیافراگم است. ساختارهای نسبت ابعاد یک نیاز اصلی برای دستگاه های سه بعدی در MEMS هستند و باید از طریق نسبت گاز و کنترل توان بهینه شوند تا از تخریب نرخ پایین جلوگیری شود.

6. Etch Damage

آسیب اچ مانند اچ کردن بیش از حد، زیر برش و اچ جانبی می تواند دقت ابعادی را کاهش دهد (به عنوان مثال، انحراف فاصله الکترود، باریک شدن تیرهای کنسول).

7. بارگذاری اثر

اثر بارگذاری به پدیده ای اطلاق می شود که نرخ اچ به صورت غیر خطی با متغیرهایی مانند مساحت و پهنای خط الگوی اچ تغییر می کند. به عبارت دیگر، مناطق یا پهنای خط های مختلف حکاکی شده منجر به تفاوت در نرخ یا مورفولوژی می شود.

Semicorex درپوشش SiCوبا پوشش TaCراه حل های گرافیت به کار رفته در فرآیندهای اچینگ در تولید نیمه هادی، در صورت داشتن هرگونه سوال یا نیاز به جزئیات بیشتر، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن تماس: +86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com