پاروهای کنسول چیست؟

در طول پردازش ویفر نیمه هادی، از کوره های تخصصی برای گرم کردن ویفرها استفاده می شود. این کوره‌ها حاوی لوله‌های استوانه‌ای دراز هستند که ویفرها روی قایق‌های ویفر در موقعیت‌های از پیش تعیین‌شده و مسافتی قرار می‌گیرند. برای اطمینان از اینکه تجهیزات پردازش ویفرها را هدر نمی دهد و برای تحمل شرایط پردازش در محفظه، قایق های ویفر و سایر دستگاه های مورد استفاده در پردازش ویفر از موادی مانند کاربید سیلیکون (SiC) ساخته می شوند.

قایق‌های ویفر که با دسته‌ای از ویفرهایی که قرار است پردازش شوند بارگیری می‌شوند، روی پاروهای کنسولی بلند قرار می‌گیرند. این پاروها را می توان به کوره ها و راکتورهای لوله ای وارد کرد و از آنها خارج کرد. پاروها از یک بخش حامل مسطح تشکیل شده اند که می تواند یک یا چند قایق را در خود جای دهد و یک دسته بلند در یک انتهای بخش کریر صاف برای جابجایی آسان قرار دارد.

برای بهترین اجزاء در پردازش نیمه هادی، توصیه می شود از یک دست و پا زدن کنسول ساخته شده از کاربید سیلیکون متبلور شده با لایه نازک CVD SiC استفاده کنید. این ماده از خلوص بالایی برخوردار است و بهترین انتخاب برای چنین قطعاتی است.

Semicorex پاروهای کنسول سفارشی را با پوشش CVD SiC با کیفیت بالا می سازد. اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن تماس 86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com