کوره انتشار چیست؟

کوره انتشار یک قطعه تخصصی از تجهیزات است که برای وارد کردن ناخالصی ها به ویفرهای نیمه هادی به روشی کنترل شده استفاده می شود. این ناخالصی ها که ناخالصی نامیده می شوند، خواص الکتریکی نیمه هادی ها را تغییر می دهند و امکان ساخت انواع مختلف قطعات الکترونیکی را فراهم می کنند. این فرآیند انتشار کنترل شده برای تولید ترانزیستورها، دیودها و مدارهای مجتمع حیاتی است.

کوره های انتشار از چندین جزء کلیدی شامل لوله های فرآیند، عناصر گرمایشی، مکانیسم های ورودی هوا و سیستم های کنترل تشکیل شده اند. لوله فرآیند به عنوان محفظه ای عمل می کند که ویفر در آن قرار می گیرد. این می تواند دماهای بالا و گازهای خورنده را تحمل کند، و آن را به یک ماده ایده آل برای این کاربرد تبدیل می کند.

المنت های حرارتی، گرمای لازم را برای بالا بردن دمای کوره تا حد مطلوب فراهم می کنند. دما در کوره های انتشار معمولاً تا 1200 درجه سانتیگراد است. برای اطمینان از گرمایش یکنواخت، عناصر گرمایش اغلب به شکل مارپیچ چیده می شوند.

مکانیزم ورودی گاز برای وارد کردن گاز ناخالص به کوره استفاده می شود. مواد ناخالص معمولی شامل بور، فسفر و آرسنیک بسته به خواص الکتریکی مورد نظر محصول نیمه هادی نهایی است. یک سیستم کنترل جریان گاز ناخالص را تنظیم می کند و کنترل دقیقی را بر فرآیند انتشار حفظ می کند.

کوره های انتشار به طور گسترده در صنعت نیمه هادی استفاده می شود. آنها در فرآیند دوپینگ استفاده می شوند که اتصالات pn را در ترانزیستورها و دیودها ایجاد می کند. کوره های انتشار همچنین نقش حیاتی در ساخت مدارهای مجتمع ایفا می کنند، جایی که چندین لایه از نیمه هادی های مختلف روی هم چیده شده و به هم متصل می شوند.

علاوه بر این، کوره های انتشار برای ساخت دستگاه های نیمه هادی پیشرفته مانند ماسفت های قدرت (ترانزیستورهای اثر میدان نیمه هادی اکسید فلز) و ترانزیستورهای دوقطبی گیت عایق (IGBT) ضروری هستند. این دستگاه‌ها در الکترونیک قدرت و فناوری انرژی‌های تجدیدپذیر بسیار حیاتی هستند که کوره‌های انتشار جزء لاینفک تولید آن‌ها هستند.

کوره های انتشار ابزاری حیاتی در تولید نیمه هادی هستند که امکان ورود کنترل شده مواد ناخالص را به ویفرهای نیمه هادی فراهم می کنند. این کوره ها جزء لاینفک تولید دستگاه های نیمه هادی مختلف مانند ترانزیستورها، دیودها و مدارهای مجتمع هستند. با پیشرفت تکنولوژی، قابلیت‌های کوره‌های پخش همچنان افزایش می‌یابد که امکان فرآیندهای ساخت دقیق‌تر و قابل اعتمادتر را فراهم می‌کند. صنعت نیمه هادی برای پاسخگویی به تقاضای رو به رشد برای تجهیزات الکترونیکی پیشرفته، به شدت به این کوره ها متکی است.

Semicorex قطعات SiC سفارشی شده را برای کوره های انتشار می سازد. اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن تماس 86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com