پوشش TaC با روش CVD

پوشش کاربید تانتالم یک ماده ساختاری مهم با استحکام بالا، مقاوم در برابر خوردگی و از نظر شیمیایی پایدار با دمای بالا با نقطه ذوب تا 4273 درجه سانتیگراد، یکی از چندین ترکیب با بالاترین مقاومت در برابر دما است. دارای خواص مکانیکی عالی در دمای بالا، مقاومت در برابر آبشستگی جریان هوا با سرعت بالا، مقاومت در برابر فرسایش، و سازگاری شیمیایی و مکانیکی خوب با گرافیت و کامپوزیت های کربن/کربن است. بنابراین، در فرآیند اپیتاکسیال LED های GaN و دستگاه های قدرت SiC مانند MOCVD، پوشش TaC دارای مقاومت اسیدی و قلیایی عالی در برابر H2، HCl، NH3 است که می تواند به طور کامل از مواد بستر گرافیت محافظت کند و محیط رشد را خالص کند.

پوشش TaC در دماهای بالاتر از 2000 درجه سانتیگراد پایدار می ماند، در حالی که پوشش SiC در دمای 1200-1400 درجه سانتیگراد شروع به تجزیه می کند، که یکپارچگی بستر گرافیت را نیز تا حد زیادی بهبود می بخشد. پوشش‌های کاربید تانتالیوم در حال حاضر بر روی بسترهای گرافیتی عمدتاً توسط CVD تهیه می‌شوند و ظرفیت تولید پوشش‌های TaC برای پاسخگویی به تقاضا برای دستگاه‌های قدرت SiC و دستگاه‌های همپای GaNLED بیشتر افزایش می‌یابد.

سیستم واکنش شیمیایی مورد استفاده برای رسوب پوشش های کاربید تانتالیوم بر روی مواد کربنی توسط رسوب شیمیایی بخار (CVD) TaCl5، C3H6، H2 و Ar است که در آن Ar به عنوان رقیق کننده و گاز حامل استفاده می شود.

پوشش‌های کاربید تانتالیوم نقشی محوری در فرآیند اپیتاکسیال LED‌های GaN و دستگاه‌های قدرت SiC با استفاده از MOCVD دارند. مواد پیشرفته از اجزای حیاتی محافظت می کنند و طول عمر و عملکرد آنها را در شرایط سخت مرتبط با تولید نیمه هادی در دمای بالا تضمین می کنند.

با افزایش تقاضا برای دستگاه‌های قدرت SiC و GaN LED، ظرفیت تولید پوشش‌های کاربید تانتالیوم افزایش می‌یابد. تولیدکنندگان آماده هستند تا نیازهای رو به رشد این صنایع را برآورده کنند و تکامل فناوری در دمای بالا را تسهیل کنند.

در نتیجه،پوشش های کاربید تانتالیومنشان دهنده یک جهش تکنولوژیکی باورنکردنی در تضمین دوام و قابلیت اطمینان مواد در محیط های با دمای بالا است. همانطور که آنها همچنان به انقلاب در بخش های نیمه هادی و الکترونیک قدرت ادامه می دهند، این پوشش ها بر وضعیت خود به عنوان یک عنصر حیاتی از پیشرفت های مدرن با فناوری پیشرفته تاکید می کنند.