اچینگ پلاسما در دمای پایین چیست؟

پلاسما چهارمین حالت ماده است و هم در کاربردهای صنعتی و هم در پدیده های طبیعی نقش اساسی دارد. به عنوان مثال، پلاسما در رعد و برق وجود دارد و به وفور در سطح خورشید تولید می شود، جایی که دمای هسته به 13500 درجه سانتی گراد می رسد. این پلاسمای با دمای بالا برای اکثر فرآیندهای تولید صنعتی مناسب نیست.

از سوی دیگر، پلاسمای دمای پایین نوعی پلاسمای ساخته شده مصنوعی است که به جای گرما، از انرژی برای تسریع واکنش‌های شیمیایی استفاده می‌کند. دمای آن معمولاً از دمای اتاق تا چند صد درجه سانتیگراد متغیر است که آن را برای کاربردهای مختلف بسیار مؤثر می کند.

مراحل تولید پلاسمای مصنوعی:

1. کاهش فشار در محفظه: با استفاده از یک پمپ خلاء برای کاهش فشار در حفره شروع کنید. دستیابی به فشار پایین برای تثبیت پلاسما و تسهیل یونیزاسیون گاز ضروری است.

2. معرفی گاز فرآیندی: گازهای فرآیندی خاص را به داخل حفره تزریق کنید. این گازها به عنوان منبع اصلی ذرات در پلاسما هستند.

3. برانگیختن پلاسما: برای یونیزه کردن گاز، انرژی را اعمال کنید و به طور موثر پلاسما را تشکیل دهید.

4. غیرفعال کردن پلاسما و بازگرداندن فشار اتمسفر: پس از تکمیل واکنش های مورد نظر، پلاسما را خاموش کرده و محفظه را به فشار اتمسفر برگردانید.

کاربردهای پلاسمای دمای پایین در تولید نیمه هادی:

پلاسمای دمای پایین در ساخت نیمه هادی ها ضروری است و عملکردهای حیاتی در حکاکی خشک، رسوب بخار فیزیکی (PVD)، رسوب بخار شیمیایی (CVD)، رسوب لایه اتمی (ALD)، کاشت یون، خاکستر کردن، و تشخیص نقطه پایانی را انجام می دهد. تطبیق پذیری و کارایی آن، آن را به یک ابزار اساسی در صنعت تبدیل کرده است.

Semicorex ارائه می دهدراه حل های با کیفیت بالا برای اچ پلاسما. اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن تماس 86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com