ساختار چاک الکترواستاتیک (ESC)

یکچاک الکترواستاتیک (ESC)وسیله‌ای است که برای نگه‌داشتن ویفرهای نیمه‌رسانا در طی فرآیندهایی مانند اچ کردن، رسوب‌گذاری یا پرداخت استفاده می‌شود. با ایجاد یک میدان الکترواستاتیک برای جذب و نگه داشتن ایمن ویفر بر روی سطح چاک عمل می کند و ثبات و تراز دقیق را در حین جابجایی ویفر فراهم می کند. ESC ها به طور گسترده ای در تولید نیمه هادی ها برای بهبود دقت فرآیند و کارایی ویفر استفاده می شوند.

تصویر واقعی از یک متعارفچاک الکترواستاتیک (ESC)در شکل به تصویر کشیده شده است. تفاوت اصلی بین مدل ها در مواد لایه عایق روی سطح چاک الکترواستاتیک است. در شکل، رنگ تیره نشان دهنده نیترید آلومینیوم و رنگ سفید نشان دهنده اکسید آلومینیوم است. ساختارچاک الکترواستاتیکاز چند بخش تشکیل شده است:

1. **لایه عایق**: این لایه در تماس با ویفر است که معمولاً از نیترید آلومینیوم یا سرامیک اکسید آلومینیوم ساخته شده است زیرا به دلیل استحکام مکانیکی عالی، مقاومت در برابر دمای بالا و رسانایی حرارتی خوب است.

2. **پین اجکتور و سوراخ گاز او **: پین اجکتور برای انتقال ویفر طراحی شده است. هنگامی که ویفر وارد محفظه اچ می شود، پین اجکتور برای حمایت از آن بالا می رود و سپس پایین می آید تا ویفر را روی سطح چاک الکترواستاتیک قرار دهد. پین اجکتور معمولاً ساختاری توخالی دارد که اجازه می‌دهد گاز هلیوم برای خنک کردن ویفر وارد شود.

3. ** کانال جریان برگشتی **: این جزء باعث افزایش اتلاف گرما و تسهیل جذب ویفر می شود.

4. **الکترود الکترواستاتیک **: این الکترود یک میدان الکتریکی ایجاد می کند که نیروی الکترواستاتیک لازم برای نگه داشتن ویفر را در جای خود ایجاد می کند. به طور معمول، الکترود مسطح است و یا در داخل ماده عایق قرار می گیرد یا روی ماده عایق قرار می گیرد. مواد رسانا معمولاً مورد استفاده عبارتند از آلومینیوم، مس و تنگستن.

5. **آب خنک کننده در گردش و الکترود گرمایش**: این عناصر در درجه اول مسئول کنترل دمای کلی چاک الکترواستاتیک هستند. الکترود گرمایش و آب خنک کننده در گردش به صورت پشت سر هم کار می کنند تا دمای ویفر را ثابت نگه دارند. صرفاً تکیه بر آب خنک کننده در گردش ممکن است منجر به ناتوانی در مدیریت گرمای تولید شده در طول فرآیند اچ شود که به طور بالقوه پایداری فرآیند را به خطر می اندازد.  

Semicorex کیفیت بالایی را ارائه می دهدچاک الکترواستاتیک (ESC). اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن تماس 86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com