گیرنده گرافیت یکی از قطعات ضروری در تجهیزات MOCVD، حامل و گرم کننده بستر ویفر است. خواص پایداری حرارتی و یکنواختی حرارتی آن نقش تعیین کننده ای در کیفیت رشد اپیتاکسی ویفر دارد که مستقیماً یکنواختی و خلوص مواد لایه را تعیین می کند، در نتیجه کیفیت آن مستقیماً بر تهیه اپیتاکسی تأثیر می گذارد.
ادامه مطلبدر زمینه ولتاژ بالا، بهویژه برای دستگاههای ولتاژ بالا بالای 20000 ولت، فناوری اپیتاکسیال SiC هنوز با چالشهای متعددی مواجه است. یکی از مشکلات اصلی دستیابی به یکنواختی، ضخامت و غلظت دوپینگ بالا در لایه اپیتاکسیال است. برای ساخت چنین دستگاه های ولتاژ بالا، یک ویفر اپیتاکسیال کاربید سیلیکون با ضخامت ......
ادامه مطلب