دیسک سرامیکی PBN توسط Semicorex از طریق فرآیند رسوب بخار شیمیایی پیچیده (CVD) با استفاده از تری کلرید بور (BCl3) و آمونیاک (NH3) در دماهای بالا و فشار پایین سنتز می شود. این روش سنتز منجر به یک ماده با خلوص و یکپارچگی ساختاری فوقالعاده میشود که آن را برای کاربردهای مختلف در صنعت نیمهرسانا ضروری میسازد.**
یکی از مهمترین مزایای دیسک سرامیکی PBN خلوص فوق العاده بالای آن است. خلوص مواد گازی مورد استفاده در فرآیند سنتز (BCl3 + NH3 -> BN + HCl) بسیار بیشتر از پودرهای نیترید بور معمولی است. در نتیجه، دیسک سرامیکی PBN به سطح خلوص 99.99٪ با ناخالصی کل کمتر از 100 قسمت در میلیون (ppm) می رسد. این خلوص استثنایی در تولید نیمه هادی ها بسیار مهم است، جایی که حتی کوچکترین آلودگی می تواند منجر به نقص در قطعات الکترونیکی شود. دیسک سرامیکی PBN با اطمینان از چنین خلوص بالایی، خطر آلودگی را به حداقل می رساند و در نتیجه قابلیت اطمینان و عملکرد دستگاه های نیمه هادی را افزایش می دهد.
فرآیند CVD به کار رفته در تولید دیسک سرامیکی PBN ساختار لایه ای تقریباً کاملی را به آن می بخشد. این ساختار منحصربهفرد هدایت حرارتی ناهمسانگرد را تسهیل میکند، خاصیتی که برای اجزای مورد استفاده در سیستمهای کوره و خلاء بسیار مفید است. هدایت حرارتی ناهمسانگرد به دیسک سرامیکی PBN اجازه می دهد تا به طور موثر توزیع گرما را مدیریت کند و از کنترل دمای یکنواخت در سراسر سطح دیسک اطمینان حاصل کند. این قابلیت در فرآیندهای تولید نیمه هادی که نیازمند مدیریت حرارتی دقیق برای جلوگیری از گرادیان حرارتی است که می تواند منجر به خرابی یا ناکارآمدی قطعات شود، ضروری است.
از نظر انعطاف پذیری حرارتی، دیسک سرامیکی PBN به عنوان یک ماده نمونه برجسته است. این می تواند تا دمای 1800 درجه سانتیگراد در محیط های خلاء و 2000 درجه سانتیگراد در نیتروژن بدون نشان دادن نقطه ذوب مقاومت کند. این پایداری حرارتی فوقالعاده، آن را به گزینهای ایدهآل برای اجزای کوره و مخازن ذوب تبدیل میکند، جایی که دماهای شدید بخشی از عملیات معمولی هستند. توانایی حفظ یکپارچگی سازه در چنین دماهای بالا، طول عمر و قابلیت اطمینان را تضمین می کند، نیاز به تعویض مکرر را کاهش می دهد و در نتیجه هزینه های عملیاتی کلی را کاهش می دهد.
بی اثر بودن شیمیایی یکی دیگر از مشخصه های دیسک سرامیکی PBN است. در برابر واکنش با طیف وسیعی از مواد از جمله اسیدها، قلیایی ها، حلال های آلی، فلزات مذاب و گرافیت مقاوم است. این بی اثری به ویژه در ساخت نیمه هادی ها، جایی که قرار گرفتن در معرض مواد واکنش پذیر رایج است، سودمند است. دیسک سرامیکی PBN با غیر فعال ماندن، از فعل و انفعالات شیمیایی ناخواسته ای که می تواند یکپارچگی و عملکرد اجزای نیمه هادی را به خطر بیندازد، جلوگیری می کند.
کاربردهای دیسک سرامیکی PBN در صنعت نیمه هادی ها متنوع و تاثیرگذار است. خواص آن آن را به یک ماده ایده آل برای استفاده در محیط های مختلف با دمای بالا و خلوص بالا تبدیل می کند. به عنوان مثال، در فرآیندهای رشد اپیتاکسیال، دیسک به عنوان یک جزء حیاتی در سیستمهای رسوبگذاری عمل میکند، جایی که خلوص و هدایت حرارتی آن تولید لایههای نیمهرسانا با کیفیت بالا را تضمین میکند. علاوه بر این، در ساخت LED ها و سایر دستگاه های الکترونیکی نوری، دیسک سرامیکی PBN یک پلت فرم پایدار و قابل اعتماد ارائه می کند که از فرآیندهای پیچیده مورد نیاز برای دستیابی به عملکرد مطلوب دستگاه پشتیبانی می کند.
علاوه بر این، نقش دیسک سرامیکی PBN در ساخت دستگاه های الکترونیکی قدرت نیز گسترش می یابد. این دستگاه ها اغلب در دماهای بالا کار می کنند و به موادی نیاز دارند که بتوانند عملکرد خود را در چنین شرایطی حفظ کنند. خواص حرارتی و شیمیایی عالی دیسک سرامیکی PBN آن را به گزینه ای مناسب برای زیرلایه ها و سایر اجزای سیستم های الکترونیکی قدرت تبدیل می کند که به کارایی و دوام این دستگاه ها کمک می کند.
ساختارهای نیترید بور