بخاری های کامپوزیت PBN

بخاری های کامپوزیت Semicorex PBN ، هدایت حرارتی عالی گرافیت پیرولیتیک را با عدم تحرک شیمیایی و عایق الکتریکی نیترید بور پیرولیتیک ادغام می کنند. این بخاری ها از یک گرافیت خلوص بسیار بالا و PBN ساخته شده اند که با استفاده از یک فرآیند CVD با کیفیت بالا (رسوب بخار شیمیایی) در شرایط رسوب خلوص بالا استفاده می شود. برای اطمینان از خلوص فوق العاده بالا و خصوصیات حرارتی سازگار ، هر لایه موفقیت در یک فرد با کنترل بسیار شدید سپرده شده است. هسته گرافیت ، که گرمایش سریع و یکنواخت را در کل فراهم می کند ، از اکسیداسیون و آلودگی توسط کپسول PBN محافظت می شود. این امر باعث می شود بخاری برای محیط های گاز خلاء و محیط های گاز بی اثر ایده آل شود. این بخاری های PBN به طور هدفمند برای استفاده در راکتورهای MBE (پرتو مولکولی) ، راکتورهای CVD و سایر سیستم های رشد کریستالی طراحی شده اند.

بخاری کامپوزیت نیترید-پیرلیتیک بورسیلیتیک (PBN-PG) بخاری یک بخاری است که از PBN با مصرف بالا به عنوان بستر استفاده می کند و از رسوب بخار شیمیایی تجزیه حرارتی کم فشار (CVD) در فشار کم (زیر 10Torr) و دمای بالای آن استفاده می کند. مؤلفه های اصلی این بخاری کامپوزیت نیترید بورون پیرولیتیک (PBN) و گرافیت پیرولیتیک (PG) است. با توجه به مقاومت در برابر خوردگی عالی و مقاومت در برابر دمای بالا ، عمدتاً برای گرمایش بستر نیمه هادی (در MBE ، MOCVD ، پوشش پاشیده و غیره استفاده می شود) استفاده می شود. گرمایش بستر ابررسانا ؛ گرمایش نمونه در طول تجزیه و تحلیل نمونه ؛ گرمایش نمونه میکروسکوپ الکترونی ؛ گرمایش فلز ؛ منبع گرمایش تبخیر فلزی و غیره

بخاری های PBN می توانند در برابر دمای عملیاتی تا 1600 درجه سانتیگراد در خلاء مقاومت کنند و توانایی بهبودی در برابر شوک حرارتی در برابر هر گزینه مبتنی بر فلز را دارند که به آن اعتماد می کنید. سطح بخاری بسیار صاف و متراکم است و در طول کار ذرات قابل توجهی کمتری تولید می کند که برای کاربردهایی که در آن آلودگی قابل تحمل نیست مانند پردازش ویفر نیمه هادی بسیار مهم است.

ساختار کامپوزیت یکنواختی حرارتی عالی را در سطح بخاری فراهم می کند و مسیرهای مقاومت آن را می توان سفارشی کرد تا امکان توزیع گرمای متناسب فراهم شود. این طرح چرخه های سریع سطح شیب دار و cooldown را در حین پردازش بدون ترک خوردگی و لایه برداری به دلیل همان ضرایب انبساط حرارتی مواد استفاده شده امکان پذیر می کند. الکترودها قادر به تحمل عملکرد مداوم مداوم هستند و همچنین در خلاء سازگار هستند.

Semicorex انعطاف پذیری طراحی نامحدودی را برای اشکال ، اندازه ها و نیازهای منحصر به فرد در صورت لزوم فراهم می کند تا نیازهای خاص برنامه را برآورده کند. چه برای اندازه های استاندارد ویفر یا هندسه های پیچیده تر باشد ، ما دقت بعدی و یکنواختی حرارتی را در هر واحد تولید شده تضمین می کنیم.

بخاری های کامپوزیت PBN برای برنامه های فوق العاده تمیز مناسب هستند ، از جمله:

• سیستم های MBE برای پردازش نیمه هادی ترکیب III-V و II-VI
• سیستم های پوشش خلاء برای اجزای نوری
• سیستم های رشد کریستالی برای یاقوت کبود و sic
• پردازش حرارتی با خلوص بالا برای محیط های آزمایشگاهی تحقیق و توسعه.