قایق گرافیتی خورشیدی PECVD

نیمه کورکسقایق های گرافیتی خورشیدی PECVDبا دقت بالا از خلوص بالا ساخته شده اندگرافیت ایزواستاتیک. هر قایق گرافیتی خورشیدی PECVD از Semicorex تحت ماشین‌کاری دقیق، بازرسی ابعادی و آزمایش عملکرد الکتریکی قرار می‌گیرد تا از عملکرد پایدار در محیط‌های پلاسما با دمای بالا اطمینان حاصل شود.

در طول پردازش PECVD، قایق گرافیتی خورشیدی PECVD ویفرهای سیلیکونی را به محفظه واکنش PECVD حمل می کند و به عنوان الکترود متصل به منبع تغذیه RF عمل می کند. هنگامی که یک ولتاژ متناوب بین صفحات قایق مجاور اعمال می شود، یک میدان الکتریکی ایجاد می شود. تحت تأثیر میدان الکتریکی، گازهای واکنش پذیر (مانند سیلان SiH4 و آمونیاک NH3) تحت تخلیه درخششی قرار می گیرند و پلاسما تولید می کنند. یون ها و رادیکال های آزاد در پلاسما گازهای پیش ساز را تجزیه می کنند و یون های سیلیکون (Si) و نیتروژن (N) را تشکیل می دهند. این یون‌ها با هم ترکیب می‌شوند و مولکول‌های نیترید سیلیکون (Si3N4) را تشکیل می‌دهند که سپس روی سطح ویفر سیلیکونی رسوب می‌کنند و لایه‌های نازکی را تشکیل می‌دهند.

1. پایداری حرارتی استثنایی

با ضریب انبساط حرارتی نزدیک به ویفرهای سیلیکونی، Semicorxقایق گرافیتی خورشیدی PECVDتغییرات ابعادی ناچیزی را در هنگام گرم شدن تجربه می کند، که به طور قابل اعتمادی از آسیب ناشی از تنش حرارتی به ویفرها جلوگیری می کند.

2. هدایت الکتریکی و حرارتی برتر

قایق‌های گرافیتی خورشیدی Semicorex PECVD دارای رسانایی الکتریکی عالی هستند، هدایت سریع جریان RF و توزیع میدان الکتریکی یکنواخت را تضمین می‌کنند که برای تولید پلاسمای پایدار و رسوب یکنواخت ویفر سیلیکونی مفید است. علاوه بر این، رسانایی حرارتی برتر آن، خنک‌سازی و گرمایش سریع را تسهیل می‌کند و بازده تولید را بهبود می‌بخشد و در عین حال از تأثیر گرمای بیش از حد موضعی بر کیفیت رسوب جلوگیری می‌کند.

3. پایداری شیمیایی قوی

به لطف استفاده از مواد درجه یک، قایق گرافیتی خورشیدی Semicorex PECVD کمتر مستعد واکنش با گازهای واکنش پذیر و پلاسما است. این مشخصه به طور قابل توجهی از توزیع ناهموار میدان الکتریکی ناشی از خوردگی، تغییر شکل یا رسوب ناخالصی در قایق گرافیتی جلوگیری می کند، بنابراین ثبات فرآیند رسوب و کیفیت سطح ویفرهای سیلیکونی را تضمین می کند.

4. مقاومت مکانیکی برجسته

قایق گرافیتی خورشیدی Semicorex PECVD با استحکام مکانیکی فوق‌العاده خود می‌تواند وزن بارهای ویفر با حجم بالا را به راحتی تحمل کند. آنها می توانند استرس مکانیکی ایجاد شده در حین بارگیری و حمل و نقل را برای مدت طولانی بدون تغییر شکل یا شکستن به راحتی تحمل کنند.

5. سازگاری ابعادی عالی

قایق گرافیتی خورشیدی Semicorex PECVD از طریق ماشینکاری دقیق به دقت ابعادی استثنایی در تمام اجزاء می رسد. این ویفر سیلیکونی را در یک موقعیت ثابت در طول رسوب نگه می دارد، که رسوب یکنواخت و سازگاری با تولید خودکار را تضمین می کند.