حامل های ویفر PFA

نیمه نیمه PFAحامل های ویفرحامل های با کارایی بالا برای کنترل ایمن ، ذخیره سازی و حمل ویفرهای نیمه هادی در یک محیط فوق العاده تمیز طراحی شده اند. ساخت نیمه هادی های پیشرفته تضمین می کند که حامل های ویفر PFA مقاومت شیمیایی بی نظیر ، پایداری حرارتی و کنترل ذرات را از یکپارچگی و پاکیزگی ویفرها در هنگام ساخت تا آزمایش نهایی ارائه می دهند.

ساخته شده از PFA جدید ، این حامل های ویفر مقاومت زیادی در برابر مواد شیمیایی سخت مانند اسیدهای قوی ، پایه ها و حلالهایی که معمولاً در تمیز کردن و اچ ویفرها استفاده می شوند ، نشان می دهند. خصوصیات شستشوی یونی بسیار کم PFA و خاصیت های فراتر از آن ، آن را به عنوان ماده ترجیحی برای کارهای مهم در اتاق تمیز تبدیل می کند ، جایی که حتی مقادیر کمی از آلاینده ها می توانند بر عملکرد دستگاه تأثیر بگذارند.

حامل های ویفر PFA در اتاق های تمیز ساخته شده و با استانداردهای اتاق تمیز کلاس 1 (ISO کلاس 3) کار می کنند. سطح صاف و غیر چسبنده PFA تولید ذرات و چسبندگی را به حداقل می رساند و از آلودگی باقیمانده یا ذرات جلوگیری می کند. علاوه بر این ، طبیعت آبگریز PFA شستشوی کامل و خشک شدن سریع را تسهیل می کند و بیشتر خطر آلودگی متقابل را در مراحل پردازش مرطوب کاهش می دهد.

هر حامل ویفر PFA دقیقاً ساخته شده است تا در حین حرکت و نگهداری از ویفرها ایمن و حتی پشتیبانی از ویفرها اطمینان حاصل شود. شکافهای شیار به ویفرها با کمی تماس ، کاهش استرس و خرد کردن بر روی لبه های ویفرها کمک می کنند. حامل ها در بسیاری از شکل ها قرار می گیرند تا اندازه های مختلفی از ویفرها را شامل شود که شامل 100 میلی متر ، 150 میلی متر ، 200 میلی متر و قطر 300 میلی متر است. تاپ های اختیاری و راه های قفل محکم ، ایمنی اضافی را در برابر شوک به کالاها ، لرزش و قرار گرفتن در معرض محیط زیست ایجاد می کند.

با توجه به مقاومت حرارتی عالی PFA تا 260 درجه سانتیگراد ، با فرآیندهای درجه حرارت بالا مانند انتشار ، اکسیداسیون و رسوب بخار شیمیایی CVD سازگار است. حامل یکپارچگی ساختاری خود را تحت دوچرخه سواری حرارتی مکرر حفظ می کند و بنابراین برای هر دو محیط دسته ای و پردازش خودکار مناسب است.

حامل های ویفر PFA دارای کاربردهای گسترده ای در تمیز کردن ویفر ، اچ کردن مرطوب ، فتولیتوگرافی CMP و سایر فرآیندهای جلویی و پشتی در ساخت IC هستند. طراحی و خلوص قوی آنها باعث می شود آنها برای استفاده در آزمایشگاه های تحقیق و توسعه و تجهیزات OEM که نیاز به پروتکل های کنترل آلودگی سخت دارند ، ایده آل کنند.

سفارشیحامل های ویفر PFAمی توان برای برآورده کردن الزامات خاص اتوماسیون ، از جمله رسیدگی به رباتیک ، سیستم های پیگیری و حمل و نقل عمودی/افقی توسعه یافت. حامل ها کاملاً با تجهیزات استاندارد انتقال ویفر و ابزارهای تولید نیمه هادی سازگار هستند.