کاست های Wafer Semicorex PFA حامل های با خلوص بالا هستند که برای اطمینان از کنترل ایمن و بدون آلودگی ویفرهای نیمه هادی در حین پردازش ، ذخیره سازی و حمل و نقل مرطوب طراحی شده اند. انتخاب نیم قطبی نه تنها کیفیت مواد PFA برتر بلکه مهندسی دقیق را نیز تضمین می کند که قابلیت اطمینان ، پاکیزگی و عملکرد طولانی مدت را در محیط های ساختگی پیشرفته ارائه می دهد.*
کاست های Wafer Semicorex PFA حامل های مهندسی شده ای هستند که برای کنترل ایمن ، ذخیره و انتقال ویفرهای نیمه هادی در برنامه های پیشرفته ساختگی طراحی شده اند. این کاست ها از پلیمر با خلوص بالا Perfluoroalkoxy (PFA) ساخته شده و مقاومت شیمیایی ، پایداری حرارتی و دوام مکانیکی مورد نیاز در تمیز کردن مرطوب ، پردازش شیمیایی و کاربردهای حمل و نقل ویفر را ارائه می دهند. ویفرها در مراحل حمل و نقل بحرانی ویفر در فرآیند تولید نیمه هادی از آلودگی ، آسیب مکانیکی و حمله شیمیایی محافظت می شوند.
استفاده از PFA به عنوان ماده اصلی این کاست های ویفر یک تغییر قابل توجه از حامل های سنتی پلیمری است. PFA در برابر بسیاری از اسیدهای تهاجمی ، پایه ها و حلالهای متداول در مراحل تمیز کردن فرآیند مرطوب (یعنی تمیز کردن RCA ، SC1 ، SC2) که به طور معمول با ساخت نیمه هادی همراه است ، مقاومت برتر دارد. عدم تحرک شیمیایی PFA تضمین می کند که ویفرها در معرض نشت آلودگی از حامل قرار نمی گیرند ، بنابراین نقص ناشی از عدم صداقت فرآیند نیست. علاوه بر این ، قادر به مقاومت در برابر درجه حرارت بالا به کاست ها اجازه می دهد تا از فرآیندهای مربوط به حمام های شیمیایی داغ یا آبکشی های گرمسیری گرم با عملکرد پایدار و قابل اعتماد پشتیبانی کنند.
کاست های ویفر PFAبرای به حداقل رساندن پایبندی ذرات و امکان تمیز کردن ، با سطوح صاف و دقیق که غیرقانونی هستند ، مهندسی شده اند. کاست های ویفر در فاب های امروزی که حتی آلودگی زیر میکرون حتی می تواند منجر به از بین رفتن عملکرد یا خرابی دستگاه شود ، به میزان پاکیزگی بالا می رسند. نوع کانتورهای داخلی صاف باعث کاهش خراش سطوح ظریف ویفر می شود و باعث می شود زهکشی منظم مایعات پس از پردازش مرطوب برای جلوگیری از دوغاب باقی مانده های شیمیایی از باقی مانده یا لمس ویفرها در عین حال افزایش قوام فرآیند و کاهش نیاز به تلاش برای تمیز کردن بار دیگر.
یک مزیت مهم دیگر کاست های ویفر PFA ، دقت بعدی و ثبات ساختاری است. فرآیند ساخت کاست نیاز به تحمل محکم تری نسبت به آنچه که معمولاً انتظار می رود نیاز دارد ، که این امکان را به شما می دهد تا کاست را به طور محکم نگه دارد و به گونه ای نگه داشته شود که هیچ تغییر ناخواسته یا تماس ناخواسته ویفرها در هنگام انتقال وجود نداشته باشد. کاست ها از نظر موقعیتی و چه از نظر ظاهری سازگار هستند ، خواه برای کار دستی باشد یا در سیستم های حمل و نقل خودکار ویفر. کاست های ویفر PFA دقیقاً با شکستگی های فیزیکی استاندارد مرتبط با سیستم های حمل و نقل استاندارد ویفر صنعت و حمل و نقل مطابقت دارند. قابلیت اطمینان خدمات طولانی و مفید مرتبط با کاست های ویفر PFA ، ارزش سرمایه گذاری را افزایش می دهد زیرا PFA می تواند در برابر استفاده مجدد پس از مکرر شیمیایی ، دوچرخه سواری حرارتی و قرار گرفتن در معرض مکانیکی مقاومت کند.
کاست های ویفر PFA دارایی های ارزشمندی هستند نه تنها در پردازش شیمیایی مرطوب برای محافظت از ویفرها بلکه برای ذخیره و حمل و نقل. آنها با مواد بی اثر ساخته شده اند تا ویفرها در طی فرآیند خنک کننده تمیز نگه دارند و دوام آنها باید تراشه های شکستگی و لبه را از بسته بندی و حمل و نقل محدود کند. کاست های ویفر PFA برای فاب های نیمه هادی و همچنین آزمایشگاه های تحقیقاتی ، تولید فتوولتائیک و سایر صنایع که نیاز به دست زدن به ویفر با خلوص بالا دارند ، مهم هستند.
کاست های ویفر PFAهمچنین پایداری و هزینه مطلوب را برای هر استفاده به ارمغان بیاورید. مصالح ساختمانی در برابر حمله شیمیایی مقاوم هستند و به راحتی قابل استفاده هستند ، به گونه ای که قابل استفاده مجدد باشد ، باعث کاهش زباله و یکبار مصرف و ترغیب استفاده مکرر برای کاهش هزینه های عملیاتی طولانی مدت می شود. با توجه به تجزیه مشترک ویفر در هنگام آلودگی ، کاهش حوادث آلودگی و از بین رفتن ویفر باعث افزایش عملکرد و کاهش نقص می شود. از دست دادن عملکرد و افزایش نقص بوم عوامل اصلی در هستی شناسی در رقابت بودن یک عملیات تولید نیمه هادی است.