بوته گرافیتی متخلخل

یک بوته گرافیتی متخلخل نقش مهمی در روند رشد تک کریستال کاربید سیلیکون (SiC) ایفا می کند که یک گام مهم در تولید نیمه هادی است. این بوته مخصوص برای مقاومت در برابر دماهای شدید و محیط های شیمیایی خشن طراحی شده است و آن را به یک ظرف ایده آل برای واکنش های دمای بالا درگیر در رشد کریستال SiC تبدیل می کند.

بوته معمولاً از مواد گرافیت با خلوص بالا ساخته می شود که به دلیل هدایت حرارتی عالی، بی اثری شیمیایی و استحکام مکانیکی معروف است. اصطلاح "متخلخل" به ایجاد عمدی ساختاری نفوذپذیر در گرافیت اشاره دارد که امکان جریان کنترل شده گازها و مایعات را در طول فرآیند رشد کریستال فراهم می کند.

فرآیند رشد تک کریستال SiC شامل تصعید مواد منبع سیلیکون و کربن در یک کوره با دمای بالا است. بوته گرافیتی متخلخل به عنوان محفظه ای برای این مواد منبع عمل می کند و محیطی پایدار و کنترل شده برای رشد کریستال فراهم می کند. ساختار متخلخل آن امکان انتقال موثر گازهای پیش ساز را فراهم می کند و حذف محصولات جانبی تولید شده در طول فرآیند رشد را تسهیل می کند.

توانایی بوته برای حفظ پایداری و تحمل شرایط شدید برای دستیابی به تک بلورهای SiC با کیفیت بالا، که در تولید دستگاه های نیمه هادی ضروری هستند، ضروری است. تخلخل بوته به بهینه‌سازی جریان گاز و توزیع گرما کمک می‌کند و به رشد یکنواخت بلورهای بزرگ و با کیفیت SiC کمک می‌کند.