Semicorex RTP SiC Coating Carrier مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق العاده ای را ارائه می دهد و آن را به راه حلی عالی برای کاربردهای پردازش ویفر نیمه هادی تبدیل می کند. این محصول با گرافیت با پوشش SiC با کیفیت بالا، به گونه ای طراحی شده است که در برابر سخت ترین محیط رسوب برای رشد همپایی مقاومت کند. رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع حرارت عالی عملکرد قابل اعتماد را برای RTA، RTP یا تمیز کردن شیمیایی خشن تضمین می کند.
ادامه مطلبارسال استعلام