سینی ویفر حامل

Semicorex برای ابزارهای نیمه‌ساخت OEM و اجزای کنترل ویفر با تمرکز بر لایه‌های کاربید سیلیکون در صنایع نیمه‌رسانا، سرامیک‌های نیمه‌رسانا ارائه می‌کند. ما سال هاست که تولید کننده و تامین کننده سینی ویفر حامل بوده ایم. سینی ویفر حامل ما مزیت قیمت خوبی دارد و بیشتر بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Semicorex نه تنها برای مراحل رسوب لایه نازک مانند اپیتاکسی یا MOCVD یا پردازش ویفر، حامل سرامیکی فوق‌العاده خالص مورد استفاده برای پشتیبانی از ویفرها را عرضه می‌کند. در هسته فرآیند، سینی حامل ویفر برای MOCVD، ابتدا در معرض محیط رسوب قرار می گیرد، بنابراین مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالایی دارد. حامل با پوشش SiC همچنین دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع حرارت عالی است.
برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد سینی حامل ویفر ما همین امروز با ما تماس بگیرید.

پارامترهای سینی حامل ویفر

خصوصیات فنی
شاخص	واحد	ارزش
نام مواد		سیلیکون کاربید متخلخل واکنش	کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار	سیلیکون کاربید تبلور مجدد
ترکیب		RBSiC	SSiC	R-SiC
چگالی حجیم	g/cm3	3	0.03 ± 3.15	2.60-2.70
قدرت خمشی	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 درجه سانتیگراد) 90-100 (1400 درجه سانتیگراد)
مقاومت فشاری	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970(560)	> 600
سختی	دکمه	2700	2800	/
شکستن سرسختی	MPa m1/2	4.5	4	/
هدایت حرارتی	W/m.k	95	120	23
ضریب انبساط حرارتی	10^-60.1/°C	5	4	4.7
گرمای ویژه	ژول/گرم 0k	0.8	0.67	/
حداکثر دما در هوا	℃	1200	1500	1600
مدول الاستیک	GPA	360	410	240

تفاوت بین SSiC و RBSiC:

1. فرآیند پخت متفاوت است. RBSiC برای نفوذ Si آزاد به کاربید سیلیکون در دمای پایین است، SSiC با انقباض طبیعی در 2100 درجه تشکیل می شود.

2. SSiC دارای سطح صاف تر، چگالی بالاتر و استحکام بالاتر است، برای برخی از آب بندی ها با الزامات سطح سخت تر، SSiC بهتر خواهد بود.

3. زمان استفاده متفاوت تحت PH و دماهای مختلف، SSiC طولانی تر از RBSiC است

ویژگی های سینی ویفر حامل

- پوشش های CVD سیلیکون کاربید برای بهبود عمر مفید.
- عایق حرارتی ساخته شده از کربن صلب خالص شده با کارایی بالا.
- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.
- گرافیت با خلوص بالا و پوشش SiC برای مقاومت در برابر سوراخ سوزنی و طول عمر بالاتر

اشکال موجود سرامیک کاربید سیلیکون:

● میله سرامیکی / پین سرامیکی / پیستون سرامیکی

● لوله سرامیکی / بوش سرامیکی / آستین سرامیکی

● حلقه سرامیکی / واشر سرامیکی / اسپیسر سرامیکی

● دیسک سرامیکی

● صفحه سرامیکی / بلوک سرامیکی

● توپ سرامیکی

● پیستون سرامیکی

● نازل سرامیکی

● بوته سرامیکی

● سایر قطعات سرامیکی سفارشی