درب محفظه خلاء MOCVD

درب محفظه خلاء MOCVD مورد استفاده در رشد کریستال و پردازش ویفر باید دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی سخت را تحمل کند. درب محفظه خلاء MOCVD با پوشش کاربید سیلیکون Semicorex که به طور خاص در برابر این محیط های چالش برانگیز طراحی شده است. محصولات ما مزیت قیمت خوبی دارند و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهند. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

اجزای Semicorex Graphite یک گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا هستند که در فرآیند رشد تک کریستال و فرآیند ویفر استفاده می شود. رشد ترکیبی درب محفظه خلاء MOCVD دارای مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا است، برای تجربه ترکیبی از گازهای پیش ساز فرار، پلاسما و دمای بالا بادوام است.

در Semicorex، ما متعهد به ارائه محصولات و خدمات با کیفیت بالا به مشتریان خود هستیم. ما فقط از بهترین مواد استفاده می کنیم و محصولات ما برای مطابقت با بالاترین استانداردهای کیفیت و عملکرد طراحی شده اند. درب محفظه خلاء MOCVD ما نیز از این قاعده مستثنی نیست. امروز با ما تماس بگیرید تا درباره اینکه چگونه می توانیم به شما در رفع نیازهای پردازش ویفر نیمه هادی کمک کنیم بیشتر بیاموزید.

پارامترهای درب محفظه خلاء MOCVD

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300