بخاری ویفر با روکش SiC

Semicorex یک تولید کننده مستقل پیشرو گرافیت با پوشش سیلیکون کاربید، گرافیت با خلوص بالا ماشینکاری شده دقیق است که بر روی گرافیت پوشش داده شده با کاربید سیلیکون، سرامیک سیلیکون کاربید، و مناطق MOCVP در تولید نیمه هادی تمرکز دارد. بخاری ویفر با پوشش SiC ما مزیت قیمت خوبی دارد و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

هیتر ویفر با پوشش SiC Semicorex می تواند در کوره دمای بالا با دمای بیش از 3000 درجه سانتیگراد در اتمسفر بی اثر و 2200 درجه سانتیگراد در خلاء کار کند. بخاری ویفر با پوشش SiC با خلوص بالا، مقاومت حرارتی عالی، حتی یکنواختی حرارتی را برای ضخامت و مقاومت لایه epi و مقاومت شیمیایی بادوام ارائه می‌کند. پوشش کریستالی SiC ریز سطحی تمیز و صاف را فراهم می کند که برای جابجایی بسیار مهم است، زیرا ویفرهای بکر در بسیاری از نقاط در کل منطقه خود با گیرنده تماس می گیرند.
در Semicorex، ما بر روی ارائه با کیفیت بالا و مقرون به صرفه SiC Coated Heater ویفر، ما رضایت مشتری را در اولویت قرار داده و راه حل های مقرون به صرفه ارائه می دهیم. ما مشتاقانه منتظر هستیم تا شریک بلندمدت شما باشیم، محصولاتی با کیفیت بالا و خدمات استثنایی به مشتریان ارائه دهیم.

پارامترهای بخاری ویفر با پوشش SiC

مشخصات فنی	VET-M3
چگالی ظاهری (g/cm3)	≥1.85
محتوای خاکستر (PPM)	≤500
سختی ساحل	≥45
مقاومت ویژه (μ.Ω.m)	≤12
قدرت خمشی (Mpa)	≥40
مقاومت فشاری (Mpa)	≥70
حداکثر اندازه دانه (μm)	≤43
ضریب انبساط حرارتی Mm/°C	≤4.4*10-6

ویژگی های بخاری ویفر با روکش SiC

- گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا
- مقاومت حرارتی برتر و یکنواختی حرارتی
- روکش کریستال SiC ریز برای سطح صاف
- ماندگاری بالا در برابر تمیز کردن شیمیایی
- متریال به گونه ای طراحی شده است که ترک و لایه لایه شدن ایجاد نشود.