درب محفظه سیلیکون کاربید

درب محفظه سیلیکون کاربید مورد استفاده در رشد کریستال و پردازش ویفر باید دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی سخت را تحمل کند. Semicorex یک تولید کننده و تامین کننده گیره گرافیت با پوشش سیلیکون کاربید در چین در مقیاس بزرگ است. محصولات ما مزیت قیمت خوبی دارند و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهند. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

درب محفظه سیلیکون کاربید مورد استفاده در رشد تک کریستال یا MOCVD یا پردازش ویفر باید دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی سخت را تحمل کند. Semicorex ساختار گرافیت روکش شده با کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص بالا را تامین می کند، مقاومت حرارتی عالی، حتی یکنواختی حرارتی برای ضخامت و مقاومت لایه epi و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می دهد. آنها برای تجربه ترکیبی از گازهای پیش ساز فرار، پلاسما و دمای بالا بادوام هستند.
درب محفظه سیلیکون کاربید ما برای دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام طراحی شده است و از یکنواختی پروفیل حرارتی اطمینان حاصل می کند. این به جلوگیری از هرگونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها کمک می کند و از رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا بر روی تراشه ویفر اطمینان می دهد.
امروز با ما تماس بگیرید تا درباره درب محفظه سیلیکون کاربید ما بیشتر بدانید.

پارامترهای درب محفظه سیلیکون کاربید

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300