Semicorex شریک شما برای قطعات و مجموعه های گرافیت پیشرفته است تا از توان عملیاتی بالاتر و بازدهی بهتر در تجهیزات پردازش نیمه هادی شما پشتیبانی کند. کارشناسان مواد ما آمادهاند تا با شما همکاری کنند تا راهحل مناسبی را برای نیازهای جابجایی، گرمایش و پردازش ویفر ایجاد کنند. افکت سرامیکی ما مزیت قیمت خوبی دارد و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.
سرامیک پایان افکتور دست ربات است که ویفرهای نیمه هادی را بین موقعیت های تجهیزات پردازش ویفر و حامل ها حرکت می دهد. افکتور انتهایی باید از نظر ابعادی دقیق و از نظر حرارتی پایدار باشد، در حالی که دارای سطحی صاف و مقاوم در برابر سایش باشد تا با خیال راحت ویفرها را بدون آسیب رساندن به دستگاهها یا ایجاد آلودگی ذرات، اداره کند. سرامیک کاربید سیلیکون با خلوص بالا ما مقاومت بالایی در برابر حرارت، حتی یکنواختی حرارتی را برای ضخامت و مقاومت لایه epi و مقاومت شیمیایی بادوام ارائه میدهد.
در Semicorex، ما بر ارائه افکت سرامیکی با کیفیت بالا و مقرون به صرفه تمرکز می کنیم، رضایت مشتری را در اولویت قرار می دهیم و راه حل های مقرون به صرفه ارائه می دهیم. ما مشتاقانه منتظر هستیم تا شریک بلندمدت شما باشیم، محصولاتی با کیفیت بالا و خدمات استثنایی به مشتریان ارائه دهیم.
پارامترهای انتهای افکت سرامیکی
مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC |
||
ویژگی های SiC-CVD |
||
ساختار کریستالی |
فاز FCC β |
|
تراکم |
g/cm³ |
3.21 |
سختی |
سختی ویکرز |
2500 |
اندازه دانه |
¼ دقیقه |
2 تا 10 |
خلوص شیمیایی |
% |
99.99995 |
ظرفیت گرمایی |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
دمای تصعید |
℃ |
2700 |
قدرت فلکسورال |
MPa (RT 4 نقطه ای) |
415 |
مدول یانگ |
Gpa (خم 4pt، 1300) |
430 |
انبساط حرارتی (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
رسانایی گرمایی |
(W/mK) |
300 |
ویژگی های پایان افکت سرامیکی با خلوص بالا
گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا
مقاومت در برابر حرارت و یکنواختی حرارتی عالی
کریستال SiC ریز پوشش داده شده برای یک سطح صاف
ماندگاری بالا در برابر تمیز کردن شیمیایی
â مواد به گونه ای طراحی شده است که ترک و لایه لایه شدن ایجاد نشود.